小型化高精度数字式微机械加速度计的设计与实现
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目次 | 第7-9页 |
| 1. 绪论 | 第9-21页 |
| ·微机械传感器概述 | 第9-10页 |
| ·微机械加速度计的分类和应用 | 第10-13页 |
| ·微机械加速度计的分类 | 第10-11页 |
| ·微机械加速度计的应用 | 第11-13页 |
| ·电容式微机械加速度计的理论模型 | 第13-19页 |
| ·典型的加速度计理论模型 | 第13-14页 |
| ·电容式微机械加速度计理论模型 | 第14-17页 |
| ·电容式微机械加速度计研究进展 | 第17-19页 |
| ·论文的主要工作和意义 | 第19-21页 |
| 2. 电容检测电路的原理与分析 | 第21-32页 |
| ·电容检测电路的分类 | 第21-24页 |
| ·开关型电容检测电路 | 第21-22页 |
| ·调制解调型电容检测电路 | 第22-24页 |
| ·单路载波调制型电容检测电路的设计与分析 | 第24-31页 |
| ·数字式单路载波调制型电容检测电路系统设计方案 | 第24-26页 |
| ·数字式单路载波调制型电容检测电路的噪声分析 | 第26-27页 |
| ·数字式单路载波调制型电容检测电路的温漂分析 | 第27-30页 |
| ·检测电路的不对称性对系统性能的影响 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 3. 加速度敏感元件的非理想特性对系统性能的影响 | 第32-43页 |
| ·铝电极间寄生电容的影响 | 第32-36页 |
| ·寄生电容仿真分析 | 第32-34页 |
| ·寄生电容对噪声的影响 | 第34-36页 |
| ·非欧姆接触的影响 | 第36-40页 |
| ·非欧姆接触对温漂的影响 | 第36-39页 |
| ·改善欧姆接触后温漂测试 | 第39-40页 |
| ·交叉耦合的影响 | 第40-42页 |
| ·交叉耦合对差分敏感电容对电容差的影响 | 第40-42页 |
| ·交叉耦合对差分敏感电容对电容和的影响 | 第42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 4. 小型化高精度数字式电容检测电路设计 | 第43-61页 |
| ·小型化高精度数字式三轴加速度计设计目标 | 第43-44页 |
| ·电路系统设计及结构设计 | 第44-45页 |
| ·FPGA及数字电路设计 | 第45-50页 |
| ·系统工作频率的选取 | 第45-47页 |
| ·解调方法优化 | 第47-49页 |
| ·数字电路资源使用量和功耗估算 | 第49-50页 |
| ·CV电路设计 | 第50-52页 |
| ·温度补偿电路设计 | 第52-57页 |
| ·几种温度补偿电路的比较 | 第53-55页 |
| ·基于质量块体电阻的温度补偿电路设计 | 第55-57页 |
| ·电源管理模块设计 | 第57-58页 |
| ·AD\DA模块设计 | 第58-59页 |
| ·小型化数字式加速度计原理样机实物图 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 5. 小型化高精度数字式加速度计指标测试 | 第61-65页 |
| ·测试环境的影响 | 第61-62页 |
| ·稳定性测试 | 第62-63页 |
| ·非线性度测试 | 第63-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| 6. 总结与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第70页 |
