| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-27页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·石墨烯的概况 | 第10-16页 |
| ·石墨烯的结构与性质 | 第10-11页 |
| ·石墨烯的制备 | 第11-14页 |
| ·石墨烯的应用 | 第14-16页 |
| ·石墨烯晶体管的栅介质集成 | 第16-25页 |
| ·物理气相沉积方法 | 第17-18页 |
| ·物理组装方法 | 第18-19页 |
| ·原子层沉积方法 | 第19-25页 |
| ·本课题提出的意义、研究内容及创新点 | 第25-27页 |
| ·课题提出的意义 | 第25-26页 |
| ·课题的研究内容 | 第26页 |
| ·课题的创新点 | 第26-27页 |
| 第二章 石墨烯样品的制备及与表征 | 第27-32页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·石墨烯样品的制备与表征 | 第27-31页 |
| ·石墨烯样品的制备 | 第27-28页 |
| ·石墨烯样品的表征 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 石墨烯上高K栅介质的集成 | 第32-48页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·臭氧基(O3-BASED)ALD工艺在石墨烯上制备Al_2O_3薄膜 | 第32-35页 |
| ·水基(H_2O-BASED)ALD工艺在石墨烯上制备Al_2O_3薄膜 | 第35-41页 |
| ·Al_2O_3薄膜表面形貌 | 第36-37页 |
| ·Al_2O_3薄膜的化学组成 | 第37-39页 |
| ·拉曼光谱表征 | 第39-40页 |
| ·透射电子显微镜(TEM)形貌表征33 | 第40-41页 |
| ·在石墨烯上制备Al_2O_3/HFO_2叠层结构薄膜 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-48页 |
| 第四章 石墨烯上高K栅介质薄膜的生长机理 | 第48-57页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·不同温度下HFO_2在石墨烯表面生长的情况 | 第48-53页 |
| ·HFO_2在初始成核阶段的生长情况 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 总结 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第67页 |
