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铜—二甲胺硼烷体系化学沉积的电化学研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-12页
1 绪论第12-24页
   ·化学镀的定义第12页
   ·化学镀的镀液组成和影响因素第12-13页
   ·化学镀机理第13-16页
     ·混合电位原理(MPT)第13-14页
     ·动力学原理第14-15页
     ·化学镀的反应机理第15-16页
   ·化学镀铜第16-21页
     ·化学镀铜的应用第17页
     ·化学镀铜的作用机理和动力学原理第17-20页
     ·化学镀铜过程中的其他因素第20-21页
   ·化学镀铜体系的国内外研究进展第21-22页
   ·本论文的研究目的及创新点第22-24页
     ·研究目的和研究内容第22-23页
     ·技术路线第23页
     ·论文工作的创新之处第23-24页
2 实验准备、装置和技术手段第24-48页
   ·试剂和药品第24-25页
   ·电极材料第25-26页
   ·电极简介第26-27页
     ·参比电极(RE)第26页
     ·对电极(CE)第26页
     ·工作电极(WE)第26-27页
     ·单晶电极第27页
   ·电化学装置第27-31页
     ·三电极电池第27-28页
     ·光谱电化学电池第28-29页
     ·化学镀池第29-30页
     ·原电池第30-31页
     ·双电极电池第31页
   ·设备和相应软件简介第31-33页
     ·原子力显微镜技术(AFM)第32页
     ·数字万用表第32页
     ·傅立叶转换红外光谱(FTIR)第32-33页
     ·双极电池伏安法的数字模拟第33页
     ·X 光衍射(XRD)第33页
   ·电化学方法第33-48页
     ·计时电流法第33-36页
     ·循环伏安法第36-40页
     ·电子转移反应动力学第40页
     ·四电极伏安法第40-41页
     ·双电极电池伏安法第41-42页
     ·微电极技术第42-43页
     ·旋转圆盘电极(RDE)技术第43-44页
     ·光谱化学分析法:傅里叶变换红外光谱法(FTIR)第44-48页
3 对 DMAB 氧化过程的研究第48-86页
   ·DMAB 稳定性的研究第48-49页
   ·不同电极表面对于 DMAB 氧化的影响第49-58页
     ·玻碳电极(GC)第50-54页
     ·铂电极第54-56页
     ·金圆盘电极上的 DMAB 氧化反应第56-58页
   ·不同实验方法对于 DMAB 氧化的研究第58-74页
     ·连续伏安法第58-61页
     ·时间-伏安法第61-63页
     ·计时电流法研究第63-64页
     ·伏安法研究第64-67页
     ·计时电流法第67-70页
     ·连续伏安法研究第70-74页
   ·氧化机制研究第74-77页
     ·二甲胺的氧化第74-75页
     ·硼氢化物的氧化第75-77页
   ·对于 DMAB 氧化的其他研究第77-84页
     ·扫描速率和 pH 值的影响第77-80页
     ·DMAB 氧化对于时间和电位依赖性的研究第80-81页
     ·DMAB 浓度的影响第81-82页
     ·DMAB 和硼氢化物的混合物的氧化第82-84页
   ·本章小结第84-86页
4 DMAB 在单晶电极表面氧化的电化学研究第86-104页
   ·PH=13 时的 DMAB 的伏安法研究第86-97页
     ·pH=13 时的反向扫描研究第88-90页
     ·pH=13 时的连续伏安法研究第90-91页
     ·pH=13 时的使用旋转圆盘电极进行研究第91-92页
     ·pH=13 时的的原位红外光谱法研究第92-97页
   ·在 PH=11 时的 DMAB 氧化第97-103页
     ·在 pH=11 时的连续伏安法研究第99-101页
     ·在 pH=11 时的空白实验第101-102页
     ·在 pH=11 时的 FTlR 光谱法研究第102-103页
   ·本章小结第103-104页
5 铜伏安法研究第104-112页
   ·碱性介质对于铜络合物还原伏安行为的影响第104-105页
   ·采用不同电极进行铜伏安法研究第105-107页
     ·玻碳电极表面的铜伏安法研究第105-106页
     ·金电极表面的铜伏安研究第106-107页
   ·模仿化学镀镀浴条件的研究第107-109页
   ·添加剂 TEA 对铜络合物还原的影响的研究第109-110页
   ·本章小结第110-112页
6 化学镀铜体系研究第112-140页
   ·双电极-化学镀系统的研究第112-116页
     ·双电极-铜的沉积研究第113-115页
     ·双电极- DMAB 氧化研究第115-116页
   ·化学镀的动力学分析第116-121页
   ·原电池结构的对比研究第121-127页
     ·原电池装置实验的动力学分析第121-125页
     ·原电池结构的电子利用效率第125-127页
   ·TEA 对于 CU-DMAB 化学镀体系的作用第127-129页
   ·CU-DMAB 化学镀体系沉积厚度的测量第129-131页
     ·电化学溶出法测量沉积厚度第130页
     ·原子力显微镜法(AFM)测量沉积厚度第130-131页
   ·双电极电池沉积对比实验第131-135页
     ·镀层厚度与极化电位的函数关系第131-133页
     ·伏安法研究第133-135页
   ·化学镀铜的表征第135-138页
     ·X 射线衍射分析第135-137页
     ·元素分析第137-138页
     ·沉积所得铜的粗糙度研究第138页
   ·本章小结第138-140页
7 结论及展望第140-144页
   ·主要结论第140-142页
   ·后续工作展望第142-144页
致谢第144-146页
参考文献第146-154页
附录第154页
 A. 作者在攻读博士学位期间发表的论文目录第154页
 B. 作者在攻读博士学位期间取得的科研成果目录第154页

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