| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·垂直磁记录 | 第11-17页 |
| ·技术简介 | 第11-14页 |
| ·原理 | 第14-15页 |
| ·垂直磁记录介质 | 第15-17页 |
| ·垂直磁各向异性磁性随机存储器 | 第17-21页 |
| ·自旋阀和磁性隧道结 | 第17-18页 |
| ·磁性随机存储器 | 第18-19页 |
| ·垂直磁各向异性磁性随机存储器 | 第19-21页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征 | 第21-28页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第21-23页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第21-23页 |
| ·溅射前基底的准备 | 第23页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第23-25页 |
| ·厚度测量 | 第24页 |
| ·磁性测量 | 第24-25页 |
| ·本论文采用设备总结 | 第25-28页 |
| ·制备设备 | 第25-26页 |
| ·退火设备 | 第26页 |
| ·振动样品磁强计 | 第26-28页 |
| 第三章 基于CoFe/Pd的自旋阀底电极中增强的垂直磁各向异性 | 第28-33页 |
| ·引言 | 第28-29页 |
| ·实验过程 | 第29页 |
| ·实验结果与讨论 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 氧引入CoFe/Pd双层膜导致的增强的垂直磁各向异性研究 | 第33-40页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·实验过程 | 第34页 |
| ·实验结果与讨论 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第五章 氧引入Pd/CoFe/MgO三层膜磁性层导致的垂直磁各向异性增强 | 第40-50页 |
| ·引言 | 第40-42页 |
| ·实验过程 | 第42页 |
| ·实验结果与讨论 | 第42-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第六章 总结 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
