| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-16页 |
| ·悬臂梁生物检测技术概述 | 第12-14页 |
| ·生物传感器简介 | 第12页 |
| ·基于悬臂梁的生物检测技术简介 | 第12-13页 |
| ·信号读取方式 | 第13-14页 |
| ·碳纳米管概述 | 第14页 |
| ·选题的意义和研究方向 | 第14-15页 |
| ·论文的主要内容与章节安排 | 第15-16页 |
| 第二章 基于纳米加工工艺的无标识生物检测技术综述与比较 | 第16-27页 |
| ·基于纳米线的生物检测技术 | 第16-19页 |
| ·纳米线生物传感器工作原理 | 第16-17页 |
| ·纳米线的制备与功能化 | 第17-18页 |
| ·纳米线生物检测的应用 | 第18-19页 |
| ·基于碳纳米管的生物检测技术 | 第19-22页 |
| ·碳纳米管生物传器检测原理 | 第19-20页 |
| ·碳纳米管的表面功能化 | 第20页 |
| ·碳纳米管在生物检测中的应用 | 第20-22页 |
| ·基于纳米流体通道的生物检测技术 | 第22-24页 |
| ·基于悬臂梁的生物检测技术 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 基于嵌入式MOS 管的悬臂梁生物传感器的基本原理及设计仿真优化 | 第27-46页 |
| ·晶体的应变电学分析 | 第27-31页 |
| ·晶体形变电学分析 | 第27-28页 |
| ·晶体的压阻效应 | 第28-31页 |
| ·悬臂梁的数学模型 | 第31-33页 |
| ·力学模型 | 第31-32页 |
| ·灵敏度与噪声 | 第32-33页 |
| ·悬臂梁的设计与有限元仿真 | 第33-35页 |
| ·嵌入式MOS 管的悬臂梁的器件仿真与电路仿真 | 第35-44页 |
| ·单个器件的TCAD 模型建立与仿真 | 第35-42页 |
| ·电路设计及HSPICE 仿真 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 基于嵌入式碳纳米管的悬臂梁生物传感器的设计与仿真优化 | 第46-66页 |
| ·石墨烯的物理结构 | 第46-49页 |
| ·碳纳米管的电学性质 | 第49-53页 |
| ·碳纳米管压阻特性的数学模型 | 第53-56页 |
| ·碳纳米管和嵌入式MOS 管灵敏度比较 | 第56-61页 |
| ·嵌入式碳纳米管悬臂梁的制作工艺技术及工艺流程 | 第61-65页 |
| ·基于NEMS 的悬臂梁加工技术 | 第61-62页 |
| ·CNT 与NEMS 的工艺整合 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结 | 第66-68页 |
| ·主要工作与创新点 | 第66页 |
| ·后续研究工作 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第75页 |
