| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 文献综述 | 第11-23页 |
| ·ECR 等离子体的原理及特点 | 第11页 |
| ·ECR 等离子体的应用 | 第11-14页 |
| ·薄膜的沉积和生长 | 第12-13页 |
| ·ECR 等离子体刻蚀 | 第13-14页 |
| ·微波 ECR 离子源 | 第14页 |
| ·等离子体的加热研究概况 | 第14-21页 |
| ·欧姆加热 | 第15-16页 |
| ·高速中性粒子束注入加热 | 第16-17页 |
| ·高频加热 | 第17-18页 |
| ·磁电加热 | 第18-21页 |
| ·本工作的主要意义和研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 ECR 等离子体源及诊断系统 | 第23-29页 |
| ·微波 ECR 等离子体源及加热系统 | 第23-25页 |
| ·电子参数诊断系统 | 第25-26页 |
| ·离子参数诊断系统 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 磁电加热对微波 ECR 等离子体参数的影响 | 第29-36页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·磁电加热对离子参数的影响 | 第29-33页 |
| ·磁电加热对电子参数的影响 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 影响离子磁电加热效果的因素 | 第36-54页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·磁场位形对离子磁电加热的影响 | 第36-37页 |
| ·磁场强度对离子磁电加热的影响 | 第37-38页 |
| ·气压对离子磁电加热的影响 | 第38-39页 |
| ·微波功率对离子磁电加热的影响 | 第39-41页 |
| ·电极环对离子磁电加热的影响 | 第41-47页 |
| ·电极环的大小对离子加热的影响 | 第41-43页 |
| ·电极环轴向位置对离子加热的影响 | 第43-46页 |
| ·双电极环对离子加热的影响 | 第46-47页 |
| ·电极圆筒对离子磁电加热的影响 | 第47-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 磁电加热在 ECR 等离子体刻蚀金刚石膜中的应用 | 第54-61页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·离子引出及输运研究 | 第54-56页 |
| ·磁电加热后刻蚀模型的建立 | 第56-58页 |
| ·磁电加热对刻蚀形貌的影响 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第6章 论文总结与展望 | 第61-64页 |
| ·论文总结 | 第61-63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 攻读硕士期间已发表的论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |