| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-31页 |
| ·传感器概述 | 第10-24页 |
| ·概念、标准及重要性 | 第10页 |
| ·湿度传感器研究现状 | 第10-21页 |
| ·气体传感器研究现状 | 第21-24页 |
| ·纳米材料在传感器中的应用 | 第24-26页 |
| ·多孔硅在传感器中的应用 | 第26-27页 |
| ·二氧化锡(SnO_2)在传感领域的应用 | 第27-29页 |
| ·纳米SnO_2的制备方法 | 第27页 |
| ·SnO_2传感材料的研究现状 | 第27-29页 |
| ·本课题的研究内容与意义 | 第29-31页 |
| 第二章 SnO_2/Si-NPA的制备与表征 | 第31-45页 |
| ·硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)的制备及表征 | 第31-32页 |
| ·Si-NPA的制备 | 第31页 |
| ·Si-NPA的形貌表征 | 第31-32页 |
| ·SnO_2/Si-NPA的制备及表征 | 第32-42页 |
| ·制备方法与实验方案 | 第32-34页 |
| ·SnO_2/Si-NPA的制备及表征 | 第34-40页 |
| ·优化条件下SnO_2/Si-NPA的形貌结构及表征 | 第40-42页 |
| ·敏感元件的制备 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第三章 SnO_2/Si-NPA元件的湿敏特性测试与分析 | 第45-60页 |
| ·湿度传感器简介 | 第45-46页 |
| ·湿度的表示方法 | 第45页 |
| ·湿度传感器的基本表征参数 | 第45-46页 |
| ·湿敏测试实验设计 | 第46-48页 |
| ·实验技术路线设计 | 第46-47页 |
| ·湿度发生装置及测试仪的选译 | 第47-48页 |
| ·SnO_2/Si-NPA元件的湿敏特性测试与分析 | 第48-59页 |
| ·电容特性响应曲线 | 第48-49页 |
| ·灵敏度测试 | 第49-51页 |
| ·响应时间测试 | 第51-52页 |
| ·重复性测试 | 第52-53页 |
| ·湿滞测试 | 第53-54页 |
| ·复阻抗谱分析 | 第54-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 SnO_2/Si-NPA元件的气敏特性测试与分析 | 第60-69页 |
| ·气体传感器背景介绍 | 第60页 |
| ·气敏实验装置及设计原理 | 第60-62页 |
| ·实验量值的设定 | 第61页 |
| ·实验步骤 | 第61-62页 |
| ·SnO_2/Si-NPA元件的气敏测试与分析 | 第62-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 结论及展望 | 第69-72页 |
| ·总结 | 第69-70页 |
| ·展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-83页 |
| 完成的论文 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
