| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-24页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·透明导电 AZO/Ag/AZO 复合薄膜的研究 | 第10-17页 |
| ·ITO 粉体的研究 | 第17-22页 |
| ·本课题的研究目的及内容 | 第22-24页 |
| 2 实验与研究方法介绍 | 第24-33页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·磁控溅射法沉积AZO 薄膜 | 第24-29页 |
| ·溅射设备介绍 | 第29-30页 |
| ·基片准备 | 第30页 |
| ·化学共沉淀法制备ITO 粉体 | 第30-31页 |
| ·试样结构与性能表征方法 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 透明导电 AZO/Ag/AZO 复合薄膜的研究 | 第33-45页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·实验 | 第33-34页 |
| ·氧流量变化对膜系透过率和膜层厚度的影响 | 第34-36页 |
| ·Ag 层厚度变化对膜系透过率的影响 | 第36页 |
| ·氧流量变化和银层厚度变化对膜系方阻的影响 | 第36-37页 |
| ·氧流量变化对膜系表面形貌的影响 | 第37-38页 |
| ·膜系设计原理及存在问题 | 第38-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 ITO 粉体的研究 | 第45-54页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·pH 值对 ITO 粉体的影响 | 第45-50页 |
| ·陈化时间对ITO 粉体的影响 | 第50-52页 |
| ·煅烧温度对ITO 粉体的影响 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 全文总结 | 第54-56页 |
| ·主要结论 | 第54-55页 |
| ·需要完善的工作 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-65页 |
| 附录（攻读硕士学位期间发表的论文目录） | 第65页 |