硬脆材料液流悬浮超光滑加工的理论与实验研究
| 提要 | 第1-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-28页 |
| ·硬脆材料的应用及其加工特性 | 第8-10页 |
| ·硬脆材料超精密加工方法 | 第10-21页 |
| ·硬脆材料超精密加工研究的有关理论方法 | 第21-26页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 液流悬浮超光滑加工的理论研究 | 第28-48页 |
| ·液流悬浮超光滑加工技术构成 | 第28-30页 |
| ·流体动压与粒子运动分析 | 第30-33页 |
| ·纳米磨粒冲击微观粗糙峰的理论模型及分析 | 第33-40页 |
| ·纳米磨粒冲蚀磨损-微去除理论分析 | 第40-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 K9 光学玻璃液流悬浮超光滑加工实验研究 | 第48-66页 |
| ·K9 光学玻璃液流悬浮超光滑加工系统 | 第48-52页 |
| ·K9 光学玻璃液流悬浮加工液的研制 | 第52-56页 |
| ·K9 光学玻璃液流悬浮超光滑加工单因素实验 | 第56-61页 |
| ·K9 光学玻璃液流悬浮超光滑加工正交实验 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第四章 硅晶片液流悬浮超光滑加工实验研究 | 第66-84页 |
| ·硅晶片液流悬浮加工液的研制 | 第66-74页 |
| ·硅晶片液流悬浮超光滑加工实验 | 第74-79页 |
| ·硅晶片液流悬浮超光滑加工过程中的化学作用 | 第79-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第五章 液流悬浮超光滑加工柔顺性研究 | 第84-100页 |
| ·液流悬浮超光滑柔顺加工装置开发 | 第84-86页 |
| ·加工变量对流体动压力的影响 | 第86-89页 |
| ·工艺变量对加工效果的影响 | 第89-90页 |
| ·加工过程中的流体动压力辨识与控制策略 | 第90-96页 |
| ·液流悬浮超光滑柔顺加工实验 | 第96-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第六章 结论 | 第100-102页 |
| 参考文献 | 第102-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 作者在攻读博士学位期间发表的论文 | 第114-115页 |
| 作者在攻读博士学位期间参与的课题 | 第115-116页 |
| 摘要 | 第116-119页 |
| ABSTRACT | 第119-121页 |
