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微型CO2气体传感器的研制

提要第1-6页
第一章 前言第6-12页
第二章 NASICON 材料的制备和表征第12-26页
   ·NASICON 材料的结构第12-16页
   ·NASICON 材料的制备第16-19页
   ·NASICON 材料的表征第19-26页
第三章 微型 CO_2气体传感器原理、结构和制作第26-33页
   ·固体电解质 CO_2传感器的工作原理第26-28页
   ·传统 CO_2传感器的结构第28-31页
   ·微型元件的结构及制作工艺第31-33页
第四章 微型 CO_2 传感器的特性第33-57页
   ·微型元件的灵敏特性第33-47页
   ·微型元件的响应恢复特性第47-50页
   ·微型元件的抗干扰特性第50-55页
   ·微型元件的稳定性第55-56页
   ·实验中存在的不足及设想第56-57页
第五章 结论第57-59页
参考文献第59-63页
摘 要第63-65页
ABSTRACT第65-68页
致谢第68-69页
攻读硕士期间发表的论文第69页

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