提要 | 第1-6页 |
第一章 前言 | 第6-12页 |
第二章 NASICON 材料的制备和表征 | 第12-26页 |
·NASICON 材料的结构 | 第12-16页 |
·NASICON 材料的制备 | 第16-19页 |
·NASICON 材料的表征 | 第19-26页 |
第三章 微型 CO_2气体传感器原理、结构和制作 | 第26-33页 |
·固体电解质 CO_2传感器的工作原理 | 第26-28页 |
·传统 CO_2传感器的结构 | 第28-31页 |
·微型元件的结构及制作工艺 | 第31-33页 |
第四章 微型 CO_2 传感器的特性 | 第33-57页 |
·微型元件的灵敏特性 | 第33-47页 |
·微型元件的响应恢复特性 | 第47-50页 |
·微型元件的抗干扰特性 | 第50-55页 |
·微型元件的稳定性 | 第55-56页 |
·实验中存在的不足及设想 | 第56-57页 |
第五章 结论 | 第57-59页 |
参考文献 | 第59-63页 |
摘 要 | 第63-65页 |
ABSTRACT | 第65-68页 |
致谢 | 第68-69页 |
攻读硕士期间发表的论文 | 第69页 |