| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-9页 |
| 1. 引言 | 第9-24页 |
| ·类金刚石薄膜研究背景 | 第9页 |
| ·类金刚石膜的分类和结构模型 | 第9-13页 |
| ·DLC膜的分类 | 第10-11页 |
| ·DLC膜的结构模型 | 第11-13页 |
| ·DLC膜的制备方法 | 第13-17页 |
| ·物理沉积方法(PVD) | 第14-17页 |
| ·化学沉积方法(CVD) | 第17页 |
| ·DLC膜的成长机理 | 第17-19页 |
| ·热峰模型 | 第18页 |
| ·离子刻蚀模型 | 第18页 |
| ·浅注入模型 | 第18-19页 |
| ·DLC膜的性能 | 第19-20页 |
| ·力学性能 | 第19-20页 |
| ·电学性能 | 第20页 |
| ·光学性能 | 第20页 |
| ·DLC膜的应用 | 第20-21页 |
| ·机械领域应用 | 第20-21页 |
| ·声学领域应用 | 第21页 |
| ·电磁学领域应用 | 第21页 |
| ·光学领域应用 | 第21页 |
| ·医学领域应用 | 第21页 |
| ·DLC膜的应用中存在的问题及解决方法 | 第21-22页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第22-24页 |
| 2. 中频非平衡磁控反应溅射装置和薄膜表征方法 | 第24-38页 |
| ·中频非平衡磁控反应溅射技术 | 第24-31页 |
| ·溅射技术的发展 | 第24页 |
| ·磁控溅射技术 | 第24-26页 |
| ·非平衡磁控溅射 | 第26页 |
| ·中频磁控溅射技术 | 第26-28页 |
| ·中频磁控溅射装置 | 第28-31页 |
| ·基材准备 | 第31页 |
| ·类金刚石薄膜的结构性能表征 | 第31-38页 |
| ·奥林帕斯光学金相显微镜 | 第32页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第32-34页 |
| ·激光拉曼光谱(Raman) | 第34-35页 |
| ·MTS纳米压痕仪(xp型) | 第35-37页 |
| ·傅立叶变换红外吸收光谱(FTIR) | 第37-38页 |
| 3 中频非平衡反应磁控溅射沉积含氢类金刚石薄膜的试验结果及讨论 | 第38-69页 |
| ·中频电流变化对类金刚石薄膜性能的影响 | 第38-49页 |
| ·光学金相表面形貌分析 | 第39-41页 |
| ·AFM分析 | 第41-42页 |
| ·Raman光谱分析 | 第42-44页 |
| ·纳米硬度和弹性模量分析 | 第44-46页 |
| ·FIIR分析 | 第46-49页 |
| ·小结 | 第49页 |
| ·基体温度变化对类金刚石薄膜性能的影响 | 第49-56页 |
| ·光学金相显微镜分析 | 第49-50页 |
| ·AFM分析 | 第50-51页 |
| ·Raman光谱分析 | 第51-53页 |
| ·纳米硬度和弹性模量分析 | 第53-54页 |
| ·FIIR分析 | 第54-56页 |
| ·小结 | 第56页 |
| ·基体偏压变化对类金刚石薄膜性能的影响 | 第56-62页 |
| ·光学金相显微镜分析 | 第56-57页 |
| ·AFM分析 | 第57-58页 |
| ·Raman光谱分析 | 第58-61页 |
| ·纳米硬度和弹性模量分析 | 第61页 |
| ·FIIR分析 | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62页 |
| ·进气比例变化对类金刚石薄膜性能的影响 | 第62-67页 |
| ·光学金相显微镜分析 | 第63页 |
| ·AFM分析 | 第63-64页 |
| ·Raman光谱分析 | 第64-65页 |
| ·纳米硬度和弹性模量分析 | 第65-66页 |
| ·FIIR分析 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67页 |
| ·工艺参数的变化对类金刚石薄膜性能影响的总结 | 第67-69页 |
| 4 DLC膜的抗砂耐腐蚀测试及进一步研究设想 | 第69-72页 |
| ·DLC膜抗砂耐腐蚀测试 | 第69-71页 |
| ·DLC膜抗砂尘轰击测试 | 第69-70页 |
| ·DLC膜耐腐蚀试验 | 第70-71页 |
| ·关于进一步研究的设想 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 作者在读期间科研成果简介 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 附录 制备a-C:H试验条件 | 第79页 |