| 摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-9页 |
| 1 引言 | 第9-13页 |
| ·薄膜厚度测量的意义和现状 | 第9-10页 |
| ·用α粒子能损法测量薄膜厚度的意义 | 第10-11页 |
| ·用MCNP方法模拟计算γ谱探测效率的重要性及改进描述方法的意义 | 第11-12页 |
| ·本论文的主要工作 | 第12-13页 |
| 2 用α粒子测量薄膜厚度的原理和方法 | 第13-23页 |
| ·α粒子的能量特征 | 第13-14页 |
| ·α粒子穿过物质过程中的能量损失规律 | 第14-17页 |
| ·用α粒子测量薄膜厚度的方法 | 第17-23页 |
| ·薄膜厚度用α粒子测量的方法 | 第17-21页 |
| ·薄膜厚度用α粒子测量的装置 | 第21-23页 |
| 3 用α粒子能损法精确测量薄膜厚度的方法 | 第23-38页 |
| ·影响薄膜厚度测量准确性因素的分析 | 第23页 |
| ·α粒子能量精确性测量方法的研究 | 第23-25页 |
| ·用分层计算法提高薄膜厚度测量精度的研究 | 第25-34页 |
| ·α粒子能损法测量薄膜厚度的量程影响因素 | 第34-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 γ谱探测效率用MCNP模拟计算的描述方法研究 | 第38-50页 |
| ·γ谱仪探测效率用蒙特卡罗模拟计算中的系统简化描述的意义 | 第38页 |
| ·系统简化描述的必要性 | 第38-39页 |
| ·真实描述和简化描述计算HPGEγ谱探测效率 | 第39-40页 |
| ·系统的真实描述 | 第39页 |
| ·系统的简化描述 | 第39-40页 |
| ·两种描述方法的计算结果和比较 | 第40-43页 |
| ·结论 | 第43-44页 |
| ·小结 | 第44-50页 |
| 5 结束语 | 第50-52页 |
| ·取得的结果和分析 | 第50-51页 |
| ·将来工作展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 硕士期间发表的文章 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |