氧化钒薄膜及非致冷红外探测器阵列研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-26页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·红外探测器分类和发展简史 | 第11-17页 |
| ·微测辐射热计红外探测器 | 第17-19页 |
| ·国内外研究现状与发展预测 | 第19-22页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第22-23页 |
| ·技术方案与研究内容 | 第23-24页 |
| ·论文安排 | 第24-26页 |
| 2 氧化钒热敏薄膜制备与性能研究 | 第26-49页 |
| ·测辐射热计热敏材料 | 第26-27页 |
| ·氧化钒热敏薄膜及制备工艺选择 | 第27-31页 |
| ·离子束溅射制备氧化钒薄膜 | 第31-43页 |
| ·磁控溅射制备氧化钒薄膜 | 第43-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 3 低温相变纳米二氧化钒薄膜研究 | 第49-73页 |
| ·纳米二氧化钒薄膜制备 | 第50-51页 |
| ·纳米二氧化钒薄膜测试分析 | 第51-65页 |
| ·纳晶结构对VO_2薄膜相变特性的影响分析 | 第65-67页 |
| ·二氧化钒薄膜微型光开关 | 第67-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 4 测辐射热计红外探测器器件理论 | 第73-98页 |
| ·微测辐射热计工作原理 | 第73-82页 |
| ·微测辐射热计响应分析 | 第82-89页 |
| ·微测辐射热计噪声分析 | 第89-95页 |
| ·微测辐射热计信噪比 | 第95-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 5 热绝缘微桥结构设计与制作 | 第98-120页 |
| ·热绝缘微桥结构 | 第98-100页 |
| ·微桥结构设计 | 第100-105页 |
| ·微桥结构制作方法及关键工艺研究 | 第105-107页 |
| ·128 元线阵微桥结构研制 | 第107-112页 |
| ·32×32 面阵微桥结构研制 | 第112-119页 |
| ·本章小结 | 第119-120页 |
| 6 焦平面读出电路芯片平坦化研究 | 第120-141页 |
| ·焦平面读出电路设计与制作 | 第120-125页 |
| ·焦平面读出电路芯片的平坦化 | 第125-131页 |
| ·互连孔刻蚀与填充 | 第131-140页 |
| ·本章小结 | 第140-141页 |
| 7 微测辐射热计阵列与读出电路单片集成 | 第141-157页 |
| ·微测辐射热计阵列设计 | 第141-144页 |
| ·微测辐射热计阵列与读出电路单片集成 | 第144-147页 |
| ·焦平面真空封装 | 第147-150页 |
| ·焦平面性能测试 | 第150-156页 |
| ·本章小结 | 第156-157页 |
| 8 全文总结和课题展望 | 第157-160页 |
| 致谢 | 第160-161页 |
| 参考文献 | 第161-172页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第172-174页 |
| 附录2 攻读学位期间申请专利目录 | 第174-175页 |
| 附录3 攻读学位期间获奖目录 | 第175页 |
