若干等离子体现象的粒子模拟
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·粒子模拟的意义 | 第8-9页 |
| ·粒子模拟的发展历史 | 第9-10页 |
| ·粒子模拟的算法问题 | 第10页 |
| ·粒子模拟的维数 | 第10-11页 |
| ·空间网格的引入 | 第11页 |
| ·粒子模拟基本流程 | 第11-13页 |
| 2 粒子模拟的基本模型 | 第13-26页 |
| ·静电模型 | 第13-19页 |
| ·粒子云分室法求空间网格电荷密度分布 | 第14-16页 |
| ·求解泊松方程 | 第16-18页 |
| ·求解网格点电场和粒子所受电场 | 第18页 |
| ·求解粒子下一时刻的坐标和速度 | 第18-19页 |
| ·电磁模型 | 第19-21页 |
| ·超粒子和有限大小粒子模型简介 | 第21-26页 |
| ·超粒子简介 | 第21-23页 |
| ·有限大小粒子简介 | 第23-26页 |
| 3 容性双电极射频放电的粒子模拟 | 第26-42页 |
| ·粒子密度变化情况 | 第26-27页 |
| ·鞘层振荡的分析 | 第27-30页 |
| ·电势的变化 | 第30-32页 |
| ·能量变化 | 第32-34页 |
| ·电极频率变化引起粒子密度变化的分析 | 第34-38页 |
| ·中性气体气压变化对系统的影响 | 第38-42页 |
| 4 外加磁场对容性放电特性的影响 | 第42-50页 |
| ·低压条件下外加弱磁场对放电特性的影响 | 第42-47页 |
| ·高压情况下外加磁场对放电性能的影响 | 第47-50页 |
| 5 等离子体离子注入的粒子模拟 | 第50-57页 |
| ·氢离子注入模拟 | 第50-53页 |
| ·脉冲电压对注入过程的影响 | 第53-55页 |
| ·氢离子注入模拟 | 第55-57页 |
| 6 柱状等离子体鞘层中尘埃空穴形成的模拟 | 第57-60页 |
| 7 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
| 在读期间发表论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第64页 |
