硅片传输机器人控制系统的研究与开发
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| ·论文的选题背景 | 第10-11页 |
| ·硅片传输机器人概述 | 第11-12页 |
| ·硅片传输机器人分类 | 第11页 |
| ·国内外硅片传输机器人发展状况 | 第11-12页 |
| ·硅片传输机器人控制系统的研究分析 | 第12-13页 |
| ·开放式控制系统的提出与分类 | 第12页 |
| ·基于“PC+运动控制器”的开放式控制系统应用 | 第12-13页 |
| ·论文研究的意义及主要内容 | 第13-15页 |
| ·论文研究的意义 | 第13-14页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 硅片传输机器人控制系统的研究基础 | 第15-25页 |
| ·研究基础总述 | 第15页 |
| ·硅片传输机器人的机械结构分析 | 第15-16页 |
| ·硅片传输机器人的技术指标 | 第15-16页 |
| ·硅片传输机器人的传动方式 | 第16页 |
| ·硅片传输机器人的末端翻转和真空吸附 | 第16页 |
| ·PMAC插补 | 第16-18页 |
| ·插补算法 | 第16-17页 |
| ·直线插补与圆弧插补 | 第17页 |
| ·PMAC插补应用 | 第17-18页 |
| ·人工示教 | 第18页 |
| ·PID调节方法 | 第18-19页 |
| ·PID控制器的发展状况及其意义 | 第18页 |
| ·PID控制器的作用 | 第18-19页 |
| ·PID控制器的调试方法 | 第19页 |
| ·误差补偿 | 第19-20页 |
| ·轨迹控制原理 | 第20-24页 |
| ·轨迹控制的基本原理 | 第20-24页 |
| ·本控制系统应用的轨迹规划原理 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 硅片传输机器人控制系统的硬件开发 | 第25-41页 |
| ·硅片传输机器人控制系统硬件系统总体设计 | 第25-26页 |
| ·运动控制器部分 | 第26-29页 |
| ·运动控制器分类 | 第27-28页 |
| ·PMAC2A-PC104控制器特点 | 第28-29页 |
| ·PMAC2A-PC104及其附件的接口技术 | 第29-34页 |
| ·PMAC2A-PC104基板的接口技术 | 第29-31页 |
| ·ACC-1P的接口技术 | 第31-32页 |
| ·ACC-2P的接口技术 | 第32-34页 |
| ·PMAC-PC104的跳线设置 | 第34-36页 |
| ·卡号跳线设置 | 第34页 |
| ·CPU以及PC总线跳线设置 | 第34页 |
| ·编码器跳线 | 第34-35页 |
| ·重新初始化／基板复位跳线 | 第35页 |
| ·通讯配置的跳线设置 | 第35-36页 |
| ·时钟配置跳线设置 | 第36页 |
| ·其它跳线设置 | 第36页 |
| ·伺服驱动系统及其控制方式 | 第36-39页 |
| ·伺服驱动系统分类 | 第36-37页 |
| ·伺服系统的确定 | 第37-38页 |
| ·电机控制模式的确定 | 第38-39页 |
| ·PMAC2A-PC104与伺服电机的硬件连接 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 4 硅片传输机器人控制系统的软件开发 | 第41-53页 |
| ·硅片传输机器人控制系统软件总体设计 | 第41-42页 |
| ·系统的开发环境及相关技术 | 第42-43页 |
| ·面向对象的程序设计 | 第42页 |
| ·Visual Basic软件平台 | 第42页 |
| ·上位机Windows 2000操作平台 | 第42-43页 |
| ·应用程序与PMAC的通讯 | 第43-45页 |
| ·PtalkDT控件的应用 | 第43页 |
| ·PComm32 PRO数据库的应用 | 第43-44页 |
| ·双端口RAM通讯技术 | 第44-45页 |
| ·实时控制模块 | 第45-49页 |
| ·PEWIN执行程序 | 第45页 |
| ·运动控制器各变量的初始化 | 第45-47页 |
| ·运动控制器坐标系的建立 | 第47页 |
| ·运动程序与PLC程序代码解释 | 第47-49页 |
| ·人机交互模块 | 第49-50页 |
| ·人机交互模块的组成 | 第49-50页 |
| ·软控制面板技术 | 第50页 |
| ·硅片传输机器人的回零控制 | 第50-51页 |
| ·概述 | 第50-51页 |
| ·回零参数控制 | 第51页 |
| ·耦合运动在程序中的实现 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5.硅片传输机器人系统的实现与调试 | 第53-67页 |
| ·人机接口主界面的开发 | 第54-56页 |
| ·人机接口通讯设置 | 第54页 |
| ·人机接口主界面 | 第54-55页 |
| ·运动方式 | 第55-56页 |
| ·人机接口界面中各模块功能的实现 | 第56-62页 |
| ·状态显示模块 | 第56页 |
| ·人工示教／手动编程模块 | 第56-58页 |
| ·手动运动模块 | 第58-59页 |
| ·运动参数选择模块 | 第59-60页 |
| ·上传下载模块 | 第60-61页 |
| ·辅助功能 | 第61-62页 |
| ·系统关键变量的设置 | 第62-63页 |
| ·系统参数调试 | 第63-66页 |
| ·调试依据 | 第63-64页 |
| ·调试实现过程 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第73页 |
