数字显微细分技术在光栅计量中的应用研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·光栅计量概述 | 第7-12页 |
| ·光栅计量的主要特点 | 第7-8页 |
| ·光栅计量的应用范围 | 第8-9页 |
| ·光栅计量的发展现状 | 第9-10页 |
| ·光栅计量的发展趋势及展望 | 第10-12页 |
| ·课题的提出 | 第12页 |
| ·主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 光栅计量系统的基本原理 | 第14-29页 |
| ·光栅计量系统 | 第14-18页 |
| ·单光栅光学系统 | 第15-16页 |
| ·双光栅成像系统 | 第16页 |
| ·三光栅系统 | 第16-17页 |
| ·本论文光栅测量系统 | 第17-18页 |
| ·光栅测量方案与细分技术 | 第18-21页 |
| ·光栅测量方案 | 第18-19页 |
| ·光栅细分技术 | 第19-21页 |
| ·光栅软件细分测长原理 | 第21-29页 |
| ·光栅软件细分原理 | 第21-25页 |
| ·光栅软件细分测长原理 | 第25-29页 |
| 第三章 系统的硬件设计 | 第29-43页 |
| ·概述 | 第29-30页 |
| ·照明系统 | 第30-32页 |
| ·光栅 | 第32-33页 |
| ·显微系统 | 第33-41页 |
| ·物镜 | 第33-36页 |
| ·电子目镜 | 第36-39页 |
| ·显微系统特性 | 第39-41页 |
| ·校验系统 | 第41-43页 |
| 第四章 系统的软件设计 | 第43-84页 |
| ·概述 | 第43-49页 |
| ·系统符号定义 | 第43-44页 |
| ·系统架构描述 | 第44-49页 |
| ·基于Hough变换的光栅参数计算方法 | 第49-73页 |
| ·设备无关位图(DIB) | 第49-50页 |
| ·图像的颜色空间变换 | 第50-51页 |
| ·滤波器的设计 | 第51-53页 |
| ·图像阈值化方法 | 第53-57页 |
| ·边缘检测方法 | 第57-59页 |
| ·霍夫(HOUGH)变换检测直线 | 第59-64页 |
| ·直线斜率的聚类分析方法及合并策略 | 第64-68页 |
| ·光栅常数的聚类分析方法 | 第68-73页 |
| ·光栅移动量的计算方法 | 第73-78页 |
| ·概述 | 第73-74页 |
| ·两幅图像的配准 | 第74-78页 |
| ·光栅移动量的计算方法 | 第78页 |
| ·系统界面设计 | 第78-84页 |
| 第五章 实验结果与数据分析 | 第84-115页 |
| ·实验方案设计 | 第84-87页 |
| ·实验步骤 | 第84-85页 |
| ·数据处理与误差分析步骤 | 第85-87页 |
| ·节距内细分实验 | 第87-104页 |
| ·实验一 | 第87-90页 |
| ·实验二 | 第90-92页 |
| ·实验三 | 第92-94页 |
| ·实验四 | 第94-96页 |
| ·实验五 | 第96-98页 |
| ·实验小结 | 第98-104页 |
| ·多节距位移实验 | 第104-107页 |
| ·实验六 | 第105-106页 |
| ·实验七 | 第106-107页 |
| ·实验小结 | 第107页 |
| ·双电子目镜光栅细分测长实验 | 第107-115页 |
| ·实验八 | 第108-110页 |
| ·实验九 | 第110-111页 |
| ·实验十 | 第111-113页 |
| ·实验小结 | 第113-115页 |
| 第六章 总结与展望 | 第115-118页 |
| 参考文献 | 第118-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
