铁电薄膜晶化动力学过程研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 概述 | 第7-12页 |
| ·铁电材料简介 | 第7-9页 |
| ·铁电薄膜晶化研究的意义 | 第9页 |
| ·BST 和STO 材料简介 | 第9-10页 |
| ·本课题的主要任务及实施方案 | 第10-12页 |
| 第二章 实验方法 | 第12-22页 |
| ·薄膜制备方法 | 第12-16页 |
| ·铁电薄膜的晶化 | 第16-17页 |
| ·薄膜微观结构表征方法 | 第17-22页 |
| 第三章 晶化动力学模型 | 第22-28页 |
| ·临界晶核 | 第22-24页 |
| ·生长速率 | 第24-25页 |
| ·稳态成核率 | 第25-27页 |
| ·结晶转化率 | 第27页 |
| ·讨论 | 第27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 第四章 晶化过程的实验分析 | 第28-45页 |
| ·两种退火方式的比较 | 第28-29页 |
| ·保温时间对晶化的影响 | 第29-32页 |
| ·退火温度的影响 | 第32-36页 |
| ·升温速率的影响 | 第36-38页 |
| ·薄膜制备方法对晶化的影响 | 第38-40页 |
| ·薄膜的非平衡晶化过程 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 BST 薄膜晶化动力学的分析和计算 | 第45-52页 |
| ·等温过程的 JMA 方程式介绍 | 第45-46页 |
| ·BST 薄膜等温晶化过程中的热力学计算 | 第46-48页 |
| ·BST 薄膜晶化过程分析 | 第48-49页 |
| ·不同退火温度和时间对薄膜晶化的影响 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 总结 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 个人简历及研究成果 | 第57页 |