光纤插针三维形貌与几何参数检测干涉仪的研制
| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-24页 |
| §1．1 本论文的提出 | 第7-10页 |
| §1．2 光纤插针检测技术研究概况 | 第10-18页 |
| §1．2．1 光纤插针测量方法综述 | 第10-16页 |
| §1．2．2 各种测量方法的评价 | 第16-17页 |
| §1．2．3 国内外主要产品 | 第17-18页 |
| §1．2．4 未来干涉仪的发展趋势 | 第18页 |
| §1．3 本课题主要研究目标和内容 | 第18-20页 |
| §1．4 本课题的意义、创新和难点 | 第20-21页 |
| 参考文献 | 第21-24页 |
| 第二章 光纤插针检测干涉仪的理论基础 | 第24-49页 |
| §2．1 光纤插针三维重建与几何参数测量 | 第24-33页 |
| §2．1．1 光纤插针几何参数定义 | 第24-26页 |
| §2．1．2 测试对象描述 | 第26-27页 |
| §2．1．3 三维重建 | 第27-29页 |
| §2．1．4 几何参数计算 | 第29-33页 |
| §2．2 移相干涉测量技术 | 第33-42页 |
| §2．2．1 相位测量法 | 第33-34页 |
| §2．2．2 移相技术 | 第34-39页 |
| §2．2．3 压电控制技术 | 第39-42页 |
| §2．3 相位去包裹技术 | 第42-46页 |
| §2．4 小结 | 第46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 第三章 光纤插针检测干涉仪的研制 | 第49-65页 |
| §3．1 总体测量方案选型 | 第49-50页 |
| §3．2 系统整体结构设计 | 第50-52页 |
| §3．3 照明系统设计 | 第52-56页 |
| §3．4 Mirau型干涉头设计 | 第56-60页 |
| §3．5 机械设计与调整 | 第60-63页 |
| §3．6 小结 | 第63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 第四章 电路与软件设计 | 第65-75页 |
| §4．1 电路设计 | 第65-70页 |
| §4．2 软件设计 | 第70-73页 |
| §4．3 小结 | 第73-75页 |
| 第五章 实验结果及分析 | 第75-82页 |
| §5．1 实验结果及分析 | 第75-80页 |
| §5．2 总结与展望 | 第80-82页 |
| 硕士在读期间发表的论文 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
