EACVD掺硼金刚石膜制备及加工性研究
| 第一章 绪论 | 第1-17页 |
| ·金刚石膜制备的研究现状 | 第8-10页 |
| ·金刚石膜加工的研究现状 | 第10-11页 |
| ·存在的问题与选题依据 | 第11-12页 |
| ·掺硼方法 | 第12-13页 |
| ·掺硼金刚石膜制备的研究现状 | 第13-14页 |
| ·掺硼金刚石膜的应用 | 第14-16页 |
| ·微电子领域 | 第14-15页 |
| ·电化学领域 | 第15-16页 |
| ·光电子领域 | 第16页 |
| ·本文的研究意义和主要工作 | 第16-17页 |
| 第二章 掺硼金刚石膜设备的研究 | 第17-27页 |
| ·掺硼金刚石膜制备装置原理 | 第17-18页 |
| ·机械系统研究 | 第18-22页 |
| ·真空系统 | 第18-19页 |
| ·电极 | 第19-20页 |
| ·衬底机构 | 第20页 |
| ·冷却系统 | 第20-21页 |
| ·供气系统 | 第21-22页 |
| ·电气系统设计 | 第22-23页 |
| ·加热电源 | 第22页 |
| ·偏压电源 | 第22-23页 |
| ·控制系统设计 | 第23-25页 |
| ·系统运行 | 第25-27页 |
| 第三章 掺硼金刚石膜的制备及分析 | 第27-40页 |
| ·掺硼金刚石膜制备 | 第27-31页 |
| ·掺硼金刚石膜的制备工艺 | 第27-29页 |
| ·掺硼金刚石膜成核的影响因素 | 第29-30页 |
| ·掺硼金刚石膜生长的影响因素 | 第30-31页 |
| ·掺硼金刚石膜的制备工艺参数 | 第31页 |
| ·掺硼金刚石膜的分析 | 第31-40页 |
| ·掺硼金刚石膜的分析方法 | 第31-32页 |
| ·实验结果的分析 | 第32-40页 |
| 第四章 掺硼金刚石膜的加工性研究 | 第40-51页 |
| ·电火花成型加工 | 第40-47页 |
| ·试验条件 | 第40-41页 |
| ·SEM分析 | 第41-43页 |
| ·Raman分析 | 第43-45页 |
| ·表面粗糙度分析 | 第45-46页 |
| ·电火花对成型小孔的加工 | 第46-47页 |
| ·电火花抛光 | 第47-49页 |
| ·实验条件 | 第47页 |
| ·SEM分析 | 第47-49页 |
| ·线切割加工 | 第49-50页 |
| ·实验条件 | 第49页 |
| ·SEM分析 | 第49-50页 |
| ·加工特点 | 第50页 |
| ·电火花加工掺硼金刚石膜的去除机理 | 第50-51页 |
| 第五章 结论与展望 | 第51-53页 |
| ·本文工作总结 | 第51页 |
| ·进一步需开展的研究工作 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表的主要论文 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
