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用于衍射空间成像的连续变空频干涉光刻技术

一、 引言第1-21页
   ·数字像素全息系统的回顾第13-19页
     ·分束镜-反射镜分光系统第13-17页
     ·光栅分光系统第17-19页
   ·本文主要研究的内容和创新点第19-21页
二、 连续变空频数字像素全息原理第21-34页
   ·数字像素全息记录原理第21页
   ·数字像素全息衍射特性第21-24页
   ·数字像素全息空间成像的设计方案第24-28页
   ·连续变频干涉光刻系统第28-32页
     ·系统的光学结构第28-30页
     ·点光栅条纹结构第30-32页
   ·系统软件介绍第32-34页
三、 数字像素全息的光刻实验第34-46页
   ·聚焦面的调整第34页
   ·数据处理第34-36页
   ·数据文件的定义和读写第36-39页
   ·连续变空频数字像素全息的制作第39-42页
     ·连续变空频图形的再现第39页
     ·连续变空频取向图形的再现第39-40页
     ·复合式图形的再现第40-42页
   ·影响记录品质因素的分析第42-45页
   ·记录材料第45-46页
四、 结论与展望第46-49页
   ·结论及进一步研究方向第46-48页
   ·应用前景第48-49页
附件A1: 一种非对称槽型光栅的激光直写的工艺研究第49-61页
 A1.1 二元光学器件制作工艺第49-51页
 A1.2 色分离光栅的设计第51-52页
 A1.3 光栅的衍射效率第52-54页
 A1.4 灰度狭缝扫描系统第54-55页
  A1.4.1 双远心光路第54页
  A1.4.2 系统的光路结构第54-55页
 A1.5 色分离光栅的制作第55-58页
  A1.5.1 灰度狭缝的制作第55-57页
  A1.5.2 实验结果及误差分析第57-58页
 A1.6 结论第58-59页
 A1.7 进一步研究方向第59-61页
参考文献第61-65页
攻读硕士学位期间公开发表的论文第65-66页
致谢第66页

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