钛酸锶钡薄膜的制备及微细图形加工
| 第一章 文献综述 | 第1-20页 |
| ·Ba_xSr_(1-x)TiO_3材料简介 | 第9-11页 |
| ·BST薄膜研究现状 | 第11-12页 |
| ·BST薄膜的制备方法 | 第12-15页 |
| ·Sol-Gel法原理 | 第12页 |
| ·金属盐和溶剂的选取 | 第12-13页 |
| ·添加剂的选取 | 第13-14页 |
| ·衬底及电极选取 | 第14-15页 |
| ·BST薄膜的微细图形加工 | 第15-16页 |
| ·研究内容和思路 | 第16-20页 |
| 第二章 BST稳定溶胶的配制工艺 | 第20-26页 |
| ·实验条件 | 第20-22页 |
| ·实验中所用的化学试剂 | 第22页 |
| ·实验过程及结果 | 第22-26页 |
| ·以SrAc_2为锶源配制的溶胶 | 第23-24页 |
| ·以SrCl_2为锶源配制的溶胶 | 第24-25页 |
| ·以Sr(NO_3)_2为锶源配制的溶胶 | 第25-26页 |
| 第三章 BST薄膜的介电性能 | 第26-39页 |
| ·实验条件 | 第26-28页 |
| ·衬底对BST薄膜介电性能的影响 | 第28-34页 |
| ·过渡层对BST薄膜介电性能的影响 | 第34-36页 |
| ·螯合剂对BST薄膜介电性能的影响 | 第36-39页 |
| 第四章 BST薄膜的掺杂改性 | 第39-45页 |
| ·掺杂BST薄膜样品的制备 | 第39-40页 |
| ·掺杂量对BST薄膜介电性能的影响 | 第40-41页 |
| ·掺杂源对BST薄膜介电性能的影响 | 第41-45页 |
| 第五章 BST薄膜的微细图形加工 | 第45-55页 |
| ·实验方法 | 第46-47页 |
| ·紫外光光照法制备微细图形 | 第47-51页 |
| ·微细图形加工工艺流程 | 第47页 |
| ·凝胶膜的感光性分析 | 第47-49页 |
| ·紫外微细图形加工 | 第49-51页 |
| ·激光干涉法制各BST薄膜光栅 | 第51-55页 |
| ·光栅制作原理及光路布置 | 第51-53页 |
| ·激光干涉法制备BST薄膜光栅 | 第53-55页 |
| 第六章 结论 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 作者在硕士期间撰写和发表的论文 | 第63页 |
