一种高精度光学微位移传感器的设计分析
第一章 绪论 | 第1-10页 |
·位移传感器的研究发展及应用 | 第6-8页 |
·本论文课题背景及研究内容 | 第8-10页 |
第二章 位移传感器原理 | 第10-23页 |
·光纤位移传感器测量原理 | 第10-13页 |
·光纤偏振光干涉仪测量原理 | 第13-15页 |
·激光三角法位移传感器测量原理 | 第15-18页 |
·直射三角法 | 第16-18页 |
·斜射三角法 | 第18页 |
·光栅位移传感器测量原理 | 第18-21页 |
·笔束激光干涉仪测量原理 | 第21-23页 |
第三章 光学偏振原理与晶体光学基础 | 第23-35页 |
·偏振光和自然光 | 第23-24页 |
·晶体光学性质 | 第24-27页 |
·晶体的光学各向异性 | 第24-25页 |
·光在晶体表面的反射和折射 | 第25-26页 |
·光在晶体中的传播方向 | 第26-27页 |
·晶体光学元件 | 第27-30页 |
·偏振器 | 第27-28页 |
·波晶片和补偿器 | 第28-30页 |
·晶体的偏光干涉 | 第30-35页 |
·平行光的偏光干涉 | 第31-33页 |
·会聚光的偏光干涉 | 第33-35页 |
第四章 光学微位移传感器模型设计 | 第35-50页 |
·光学微位移传感器的数学模型 | 第35-39页 |
·理论基础 | 第35-36页 |
·设计方案 | 第36-39页 |
·对晶体的要求 | 第39-41页 |
·实验装置 | 第41-43页 |
·获取条纹 | 第43-44页 |
·条纹对比度分析 | 第44-46页 |
·条纹信息处理 | 第46-50页 |
第五章 实验结果 | 第50-56页 |
·现场测量结果 | 第50-54页 |
·实验总结与展望 | 第54-56页 |
参考文献 | 第56-59页 |
致谢 | 第59-60页 |
攻读硕士期间发表或完成的论文 | 第60页 |