第一章 绪论 | 第1-10页 |
1.1 引言 | 第6-7页 |
1.2 国内外研究进展 | 第7-8页 |
1.3 本课题的提出 | 第8-10页 |
第二章 薄膜制备的离子束增强沉积工艺 | 第10-18页 |
2.1 离子束增强沉积概述 | 第10-14页 |
2.2 实验设备 | 第14-15页 |
2.3 薄膜的制备工艺 | 第15-18页 |
第三章 薄膜的特性表证 | 第18-36页 |
3.1 基本参数 | 第18-24页 |
3.2 力学性能 | 第24-36页 |
第四章 薄膜的光学特性 | 第36-58页 |
4.1 薄膜的传输特性 | 第36-49页 |
4.2 薄膜的荧光分析 | 第49-58页 |
第五章 溶胶-凝胶工艺及实验结果分析 | 第58-73页 |
5.1 薄膜和玻璃制备工艺 | 第58-67页 |
5.2 薄膜和玻璃的特性分析 | 第67-73页 |
第六章 结论及讨论 | 第73-78页 |
参考文献 | 第78-80页 |
致谢 | 第80-81页 |