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超薄介质膜热扩散率的测试研究

第一章 绪论第1-13页
 第一节 引言第7-8页
 第二节 热传导第8-11页
 第三节 热传导的微尺度判据第11-12页
 第四节 微尺度热传导中的挑战第12-13页
第二章 微观热传输模型第13-24页
 第一节 两步模型第13-16页
 第二节 声子散射模型第16-17页
 第三节 声子辐射传输模型第17-22页
 第四节 热波中的弛豫行为第22-24页
第三章 薄膜和多层材料热扩散率的测量第24-32页
 第一节 测量热扩散率的方法第24-27页
 第二节 交流量热法测薄膜的热扩散率第27-32页
第四章 样品的设计与制备第32-41页
 第一节 样品的设计第32-33页
 第二节 样品的制备和监测第33-40页
 第三节 样品的后续处理第40-41页
第五章 实验装置第41-51页
 第一节 激光器第41-47页
 第二节 锁相放大器第47-50页
 第三节 其它仪器第50-51页
第六章 数据处理与分析第51-61页
 第一节 传感器的标定第51-54页
 第二节 介质薄膜的测量结果第54-58页
 第三节 实验结果分析第58-61页
第七章 结束语第61-66页

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