| 摘要（中文） | 第1-4页 |
| 摘要（英文） | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-13页 |
| 第一节 微细尺度热传导范围划分 | 第6-10页 |
| 第二节 介质薄膜在微尺度下的热导率 | 第10-13页 |
| 第二章 超薄膜热导率的测量方法 | 第13-29页 |
| 第一节 薄膜热导率的传统测量方法 | 第13-15页 |
| 第二节 微细尺度下的热导率测量方法概述 | 第15-18页 |
| 第三节 3ω法测薄膜热导率 | 第18-29页 |
| 第三章 样品的设计与制备 | 第29-36页 |
| 第一节 样品的设计 | 第29-30页 |
| 第二节 样品的制备 | 第30-36页 |
| 第四章 数据测量与分析 | 第36-50页 |
| 第一节 薄膜热导率的测量 | 第36-47页 |
| 第二节 测试结果分析 | 第47-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |