| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| ·薄膜材料与薄膜技术 | 第12-15页 |
| ·薄膜的发展简史和发展趋势 | 第12页 |
| ·薄膜制备技术概述 | 第12-15页 |
| ·碳基薄膜的特性 | 第15-19页 |
| ·DLC 薄膜的特性 | 第15-16页 |
| ·非晶氮化碳薄膜的特性 | 第16-18页 |
| ·硼碳氮薄膜的特性 | 第18-19页 |
| ·本文的研究背景及国内外发展现状 | 第19-24页 |
| ·碳基薄膜摩擦学的国内外研究现状 | 第19-22页 |
| ·本文的研究意义 | 第22页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 实验方法 | 第24-33页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第24-27页 |
| ·样品的材料 | 第24页 |
| ·碳基薄膜的制备 | 第24-27页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第27-29页 |
| ·拉曼光谱(Raman Spectrum) | 第27-28页 |
| ·傅立叶红外光谱(Fourier Transform Infrared Spectrum，FT-IR) | 第28页 |
| ·X 射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectrometer，XPS) | 第28-29页 |
| ·薄膜的机械性能表征 | 第29-30页 |
| ·薄膜的纳米硬度的表征 | 第29页 |
| ·UMT-2 型摩擦磨损试验机简介 | 第29-30页 |
| ·摩擦磨损实验的环境条件和实验参数 | 第30页 |
| ·薄膜磨痕的提交测试及宏观微观形貌分析 | 第30-31页 |
| ·磨痕体积的测量方法 | 第30-31页 |
| ·磨痕的微观形貌分析 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 DLC 薄膜的性能分析 | 第33-40页 |
| ·DLC 薄膜的结构表征 | 第33-34页 |
| ·DLC 薄膜的机械性能 | 第34-37页 |
| ·辅源离子束能量对DLC 薄膜的硬度及弹性模量的影响 | 第34-35页 |
| ·辅源离子束能量对DLC 薄膜的摩擦学性能的影响 | 第35-37页 |
| ·DLC 薄膜磨痕的三维形貌及截面形貌 | 第37-38页 |
| ·DLC 薄膜的XPS 图谱分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 CN_X薄膜的性能分析 | 第40-52页 |
| ·辅源离子束能量对CN_X薄膜的机械性能的影响 | 第40-42页 |
| ·辅源离子束能量对CN_x 薄膜的硬度及弹性模量的影响 | 第40页 |
| ·辅源离子束能量对CN_x 薄膜的摩擦学性能的影响 | 第40-42页 |
| ·辅源气份对CN_X薄膜的机械性能的影响 | 第42-45页 |
| ·辅源气份对CN_x 薄膜的硬度及弹性模量的影响 | 第42-43页 |
| ·辅源气份对CN_x 薄膜的摩擦学性能的影响 | 第43-45页 |
| ·CN_X薄膜磨痕的三维形貌及截面形貌 | 第45-48页 |
| ·CN_X薄膜的光学显微分析 | 第48-49页 |
| ·CN_X薄膜的XPS 图谱分析 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 BCN 薄膜的性能分析 | 第52-70页 |
| ·BCN 薄膜的结构表征 | 第52-53页 |
| ·BCN 薄膜的拉曼光谱分析 | 第52页 |
| ·BCN 薄膜的红外光谱分析 | 第52-53页 |
| ·对BCN 薄膜的机械性能的影响 | 第53-58页 |
| ·对BCN 薄膜的硬度及弹性模量的影响 | 第53-54页 |
| ·对BCN 薄膜的摩擦学性能的影响 | 第54-58页 |
| ·辅源气份对BCN 薄膜的机械性能的影响 | 第58-60页 |
| ·辅源气份对BCN 薄膜的硬度及弹性模量的影响 | 第58-59页 |
| ·辅源气份对BCN 薄膜的摩擦学性能的影响 | 第59-60页 |
| ·载荷和频率对BCN 薄膜的摩擦学性能的影响 | 第60-62页 |
| ·载荷对BCN 薄膜的摩擦性能的影响 | 第60-61页 |
| ·频率对BCN 薄膜的摩擦性能的影响 | 第61-62页 |
| ·BCN 薄膜磨痕的三维形貌及截面形貌 | 第62-65页 |
| ·BCN 薄膜的光学显微分析 | 第65-67页 |
| ·BCN 薄膜的XPS 图谱分析 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 DLC，CN_X和BCN 薄膜性能的比较 | 第70-73页 |
| ·硬度及弹性模量的比较 | 第70页 |
| ·摩擦因数及磨损率的比较 | 第70-71页 |
| ·对沉积薄膜表面粗糙度的影响 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第七章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·本文的主要工作及结论 | 第73-74页 |
| ·展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第80页 |
