中文摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-10页 |
第一章 绪论 | 第10-21页 |
·印刷电子技术发展现状 | 第10-14页 |
·印刷电子技术的意义 | 第10-12页 |
·印刷电子的印刷工艺 | 第12-14页 |
·印刷电子中新型透明导电膜的需求及发展 | 第14-19页 |
·本论文主要内容 | 第19-21页 |
第二章 用于印刷电子光刻掩模版的图形化激光直写设备 | 第21-43页 |
·国内外图形化设备 | 第21-28页 |
·图形化的意义与作用 | 第21-22页 |
·图形化设备的进展与发展趋势 | 第22-28页 |
·iGrapher200 图形化激光直写技术 | 第28-34页 |
·iGrapher200 激光图形化设备的简介 | 第28-29页 |
·飞行频闪平铺曝光技术的特点 | 第29-31页 |
·Z 轴校正技术的作用 | 第31-34页 |
·DMD 微镜偏角误差对图形化光利用率的影响 | 第34-41页 |
·数字微镜器件(DMD)的结构及工作原理 | 第34页 |
·闪耀光栅模型分析数字微镜器件的相位调制特性 | 第34-37页 |
·微镜偏转角误差对数字微镜器件相位调制特性的影响 | 第37-41页 |
·用于微金属网栅透明导电膜制作的光掩模板 | 第41-43页 |
第三章 柔性印刷 PDMS 压印模板的制造工艺 | 第43-55页 |
·PDMS 材料及其性能 | 第43-45页 |
·柔性印刷 PDMS 压印模板的制作 | 第45-51页 |
·纳米压印技术 | 第45-46页 |
·柔性印刷 PDMS 压印模板制作的工艺流程及要求 | 第46-47页 |
·正胶母版曝光工艺调试 | 第47-50页 |
·PDMS 的调制及模板的制作 | 第50-51页 |
·采用负胶母版改善 PDMS 模板雾度的研究 | 第51-54页 |
·正胶母版制作 PDMS 模板雾度低的原因 | 第51-52页 |
·采用负胶母版二次铸模的工艺制作 PDMS 模板 | 第52-54页 |
·比较两种工艺制作的 PDMS 的雾度 | 第54页 |
·本章小结 | 第54-55页 |
第四章 PDMS 印刷模板制作透明导电膜基片 | 第55-60页 |
·用 PDMS 模板制作透明导电膜基片的工艺流程 | 第55页 |
·透明导电膜的填充工艺及讨论 | 第55-60页 |
第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
·总结 | 第60页 |
·工作展望 | 第60-62页 |
参考文献 | 第62-69页 |
攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第69-70页 |
致谢 | 第70-71页 |