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微图形化技术在印刷电子材料的应用研究

中文摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-21页
   ·印刷电子技术发展现状第10-14页
     ·印刷电子技术的意义第10-12页
     ·印刷电子的印刷工艺第12-14页
   ·印刷电子中新型透明导电膜的需求及发展第14-19页
   ·本论文主要内容第19-21页
第二章 用于印刷电子光刻掩模版的图形化激光直写设备第21-43页
   ·国内外图形化设备第21-28页
     ·图形化的意义与作用第21-22页
     ·图形化设备的进展与发展趋势第22-28页
   ·iGrapher200 图形化激光直写技术第28-34页
     ·iGrapher200 激光图形化设备的简介第28-29页
     ·飞行频闪平铺曝光技术的特点第29-31页
     ·Z 轴校正技术的作用第31-34页
   ·DMD 微镜偏角误差对图形化光利用率的影响第34-41页
     ·数字微镜器件(DMD)的结构及工作原理第34页
     ·闪耀光栅模型分析数字微镜器件的相位调制特性第34-37页
     ·微镜偏转角误差对数字微镜器件相位调制特性的影响第37-41页
   ·用于微金属网栅透明导电膜制作的光掩模板第41-43页
第三章 柔性印刷 PDMS 压印模板的制造工艺第43-55页
   ·PDMS 材料及其性能第43-45页
   ·柔性印刷 PDMS 压印模板的制作第45-51页
     ·纳米压印技术第45-46页
     ·柔性印刷 PDMS 压印模板制作的工艺流程及要求第46-47页
     ·正胶母版曝光工艺调试第47-50页
     ·PDMS 的调制及模板的制作第50-51页
   ·采用负胶母版改善 PDMS 模板雾度的研究第51-54页
     ·正胶母版制作 PDMS 模板雾度低的原因第51-52页
     ·采用负胶母版二次铸模的工艺制作 PDMS 模板第52-54页
     ·比较两种工艺制作的 PDMS 的雾度第54页
   ·本章小结第54-55页
第四章 PDMS 印刷模板制作透明导电膜基片第55-60页
   ·用 PDMS 模板制作透明导电膜基片的工艺流程第55页
   ·透明导电膜的填充工艺及讨论第55-60页
第五章 总结与展望第60-62页
   ·总结第60页
   ·工作展望第60-62页
参考文献第62-69页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第69-70页
致谢第70-71页

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