| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-12页 |
| ·微分干涉相衬显微术的发展现状和应用概况 | 第8-10页 |
| ·选题依据及研究目的 | 第10页 |
| ·本论文所做的工作与内容安排 | 第10-12页 |
| 第2章 显微系统的基本原理 | 第12-20页 |
| ·微分干涉相衬显微镜的基本原理 | 第12-17页 |
| ·线偏振光干涉原理 | 第12-14页 |
| ·线偏振光微分原理 | 第14-16页 |
| ·光学系统原理 | 第16-17页 |
| ·机械机构 | 第17-20页 |
| 第3章 Nomarski 棱镜的设计基础 | 第20-35页 |
| ·NOMARSKI 棱镜各参数的推导 | 第20-27页 |
| ·分束角的设计计算 | 第20-24页 |
| ·入射线偏振光振动方向垂直于纸面 | 第21-22页 |
| ·入射线偏振光振动方向平行于纸面 | 第22-24页 |
| ·相干平面的位置及与系统光轴的关系 | 第24-26页 |
| ·光程差的计算 | 第26-27页 |
| ·设计参数相互关系分析 | 第27-35页 |
| ·分束角的关系分析 | 第27-29页 |
| ·相干平面倾角η、楔块楔角γ和光轴倾角δ之间的关系 | 第29-31页 |
| ·相干平面出离量D、楔块楔角γ和光轴倾角δ和棱镜厚度a之间的关系 | 第31-33页 |
| ·光程差Γ、光轴倾角δ、棱镜厚度a和入射坐标X0 之间的关系 | 第33-35页 |
| 第4章 棱镜设计及加工实例 | 第35-42页 |
| ·设计实例 | 第35-38页 |
| ·棱镜加工实例 | 第38-40页 |
| ·结论 | 第40-42页 |
| 第5章 显微镜光学系统的调试及结论 | 第42-46页 |
| ·NOMARSKI 棱镜的材料选择 | 第42-43页 |
| ·微分干涉相衬显微镜试验装置 | 第43页 |
| ·系统调试 | 第43-44页 |
| ·起偏器检偏器相对零位的调整 | 第43页 |
| ·Nomarski 棱镜相干面的调整 | 第43-44页 |
| ·图像实例 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第6章 全文总结与展望 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 附录 发表论文情况 | 第52页 |
