| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 类金刚石材料综述 | 第8-12页 |
| §1.1 引言 | 第8页 |
| §1.2 类金刚石薄膜的微结构及分类 | 第8-11页 |
| §1.3 类金刚石膜的制备方法 | 第11页 |
| §1.4 类金刚石膜的应用前景 | 第11-12页 |
| 第二章 PLD制备类金刚石膜及性质测量 | 第12-16页 |
| §2.1 脉冲激光沉淀系统 | 第12-14页 |
| §2.2 类金刚石薄膜性质测量 | 第14-16页 |
| 第三章 不同条件下生长类金刚石膜的微结构和光学性质 | 第16-32页 |
| §3.1 引言 | 第16页 |
| §3.2 沉积频率对DLC膜微结构和光学性质的影响 | 第16-23页 |
| §3.2.1 沉积频率对DLC膜微结构的影响 | 第16-18页 |
| §3.2.2 不同频率下制备的DLC膜的光学性质 | 第18-21页 |
| §3.2.3 DLC薄膜的光致发光谱 | 第21-22页 |
| §3.2.4 无氢DLC膜的光致发光机理 | 第22-23页 |
| §3.3 生长温度对DLC膜微结构,透射和电阻率的影响 | 第23-27页 |
| §3.3.1 不同生长温度对DLC膜微结构的影响 | 第23-25页 |
| §3.3.2 DLC薄膜的光学透射光谱 | 第25-26页 |
| §3.3.3 DLC薄膜的电阻率 | 第26-27页 |
| §3.4 热效应作用机制 | 第27-28页 |
| §3.5 激光功率密度对DLC膜的微结构的影响 | 第28-31页 |
| 小结 | 第31-32页 |
| 第四章 氮气环境中类金刚石薄膜的制备与性质 | 第32-39页 |
| §4.1 引言 | 第32页 |
| §4.2 氮气环境中制备类金刚石薄膜 | 第32-38页 |
| §4.2.1 样品微结构分析 | 第32-35页 |
| §4.2.2 光学带隙 | 第35-36页 |
| §4.2.3 表面形貌 | 第36-38页 |
| §4.3 小结 | 第38-39页 |
| 全文总结 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-46页 |
| 发表的论文 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47页 |
