| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| ·湿度和湿度元件 | 第7-11页 |
| ·湿度及其表示方法 | 第7-8页 |
| ·湿度的测量 | 第8-9页 |
| ·湿敏元件的研究概况 | 第9页 |
| ·湿敏元件的特性参数 | 第9-11页 |
| ·湿敏元件的感湿机理 | 第11-13页 |
| ·接触粒界势垒理论 | 第11-12页 |
| ·电子导电理论 | 第12页 |
| ·离子(质子)导电理论 | 第12页 |
| ·混合电导理论 | 第12-13页 |
| ·纳米半导体陶瓷湿敏传感器 | 第13-15页 |
| ·纳米陶瓷湿敏材料 | 第13页 |
| ·氧化钛陶瓷结构及性质 | 第13-15页 |
| ·TiO_2 基湿敏薄膜 | 第15-18页 |
| ·TiO_2–SnO_2 复合湿敏薄膜 | 第15-17页 |
| ·稀土离子掺杂的TiO_2 基湿敏薄膜 | 第17-18页 |
| ·湿敏薄膜的制备技术 | 第18-19页 |
| ·研究目的、意义及内容 | 第19-20页 |
| 第二章 试验过程 | 第20-26页 |
| ·试验所选试剂 | 第20页 |
| ·湿敏薄膜的制备 | 第20-24页 |
| ·湿敏薄膜制备 | 第20-21页 |
| ·电极基板的制备 | 第21-22页 |
| ·试样的制备 | 第22-24页 |
| ·湿敏薄膜测量 | 第24-25页 |
| ·薄膜表面形貌观测 | 第25-26页 |
| 第三章 锡离子掺杂薄膜湿敏性能研究 | 第26-40页 |
| ·薄膜湿敏性能 | 第26-34页 |
| ·TiO_2 薄膜湿敏性能 | 第26-27页 |
| ·TiO_2-20wt% SnO_2 薄膜湿敏性能 | 第27-34页 |
| ·薄膜表面形貌 | 第34-36页 |
| ·薄膜湿敏性能的影响因素 | 第36-39页 |
| ·相组成 | 第36-37页 |
| ·晶粒尺寸 | 第37页 |
| ·表面形貌 | 第37-38页 |
| ·测试频率 | 第38-39页 |
| ·薄膜层数 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 稀土离子掺杂薄膜湿敏性能研究 | 第40-48页 |
| ·薄膜湿敏性能 | 第40-43页 |
| ·稀土镧离子掺杂TiO_2–20wt% SnO_2 薄膜湿敏性能 | 第40-41页 |
| ·稀土铈离子掺杂TiO_2–20wt% SnO_2 薄膜湿敏性能 | 第41-43页 |
| ·薄膜表面形貌 | 第43-45页 |
| ·稀土镧离子掺杂TiO_2-20wt% SnO_2 薄膜的表面形貌 | 第43-44页 |
| ·稀土铈离子掺杂TiO_2–20wt% SnO_2 薄膜的表面形貌 | 第44-45页 |
| ·稀土离子掺杂薄膜湿敏性能的影响因素 | 第45-47页 |
| ·相组成 | 第45-46页 |
| ·晶粒尺寸 | 第46页 |
| ·表面形貌 | 第46页 |
| ·稀土离子 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 结论 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 在读期间发表的论文 | 第54-55页 |
| 个人简介 | 第55页 |
