基于双频激光干涉测量的大行程纳米定位技术及其应用研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| ·研究背景及意义 | 第13-14页 |
| ·研究现状及趋势 | 第14-23页 |
| ·国内外光栅刻划机的发展及现状 | 第14-19页 |
| ·大行程纳米定位技术研究现状 | 第19-21页 |
| ·双频激光干涉仪发展现状 | 第21-23页 |
| ·主要研究内容和结构安排 | 第23-25页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| ·论文的结构安排 | 第24-25页 |
| 第2章 系统设计及衍射光栅误差模型 | 第25-53页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·光栅刻划机基本工作原理 | 第25-33页 |
| ·光栅刻划机的运行方式 | 第25-28页 |
| ·光栅刻划机的工作方式 | 第28-30页 |
| ·光栅刻划机的系统构成 | 第30-31页 |
| ·光栅刻划机的工作流程 | 第31-33页 |
| ·大行程纳米定位系统设计 | 第33-48页 |
| ·性能指标要求 | 第33-35页 |
| ·宏定位系统 | 第35-37页 |
| ·微定位系统 | 第37-40页 |
| ·测量系统设计及精度分析 | 第40-48页 |
| ·光栅刻划机的误差模型 | 第48-52页 |
| ·与刻划机精度有关的衍射光栅性能指标 | 第48页 |
| ·波前质量对刻槽定位精度的要求 | 第48-49页 |
| ·鬼线强度对刻槽定位精度的要求 | 第49-50页 |
| ·杂散光对刻槽定位精度的要求 | 第50-51页 |
| ·刻槽误差求解 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第3章 宏微两级定位系统建模 | 第53-85页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·宏定位系统建模 | 第53-66页 |
| ·宏定位系统的模型建立 | 第54-55页 |
| ·宏定位系统动力学分析 | 第55-58页 |
| ·宏定位系统状态方程 | 第58-60页 |
| ·宏定位系统辨识 | 第60-64页 |
| ·宏定位系统特性分析 | 第64-66页 |
| ·微定位系统建模 | 第66-77页 |
| ·微定位系统的模型建立 | 第66-70页 |
| ·微定位系统模型的简化 | 第70-71页 |
| ·微定位系统参数估计 | 第71-72页 |
| ·微定位系统特性分析 | 第72-74页 |
| ·微定位系统的改进 | 第74-77页 |
| ·微定位系统的分辨力 | 第77页 |
| ·具有摆角校正的微定位系统设计 | 第77-83页 |
| ·微定位系统结构 | 第78-80页 |
| ·摆角校正实验 | 第80-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 第4章 大行程纳米定位系统控制算法 | 第85-107页 |
| ·引言 | 第85-86页 |
| ·PID 控制系统设计与仿真 | 第86-91页 |
| ·PID 控制器设计 | 第86-87页 |
| ·微定位闭环控制系统仿真 | 第87-90页 |
| ·抗干扰分析 | 第90-91页 |
| ·基于 BP 神经网络的控制系统设计 | 第91-96页 |
| ·BP 神经网络原理 | 第91-94页 |
| ·基于 BP 神经网络的 PID 控制器设计 | 第94-96页 |
| ·宏定位实时补偿环路 | 第96-98页 |
| ·衍射光栅刻划实验 | 第98-105页 |
| ·基于 PID 控制器的衍射光栅刻划实验 | 第99-103页 |
| ·基于 BP 神经网络的衍射光栅刻划实验 | 第103-105页 |
| ·本章小结 | 第105-107页 |
| 第5章光栅刻划机实时监测技术研究 | 第107-123页 |
| ·引言 | 第107-108页 |
| ·衍射光栅光谱成像理论 | 第108-112页 |
| ·Huygens 原理的严格表达式 | 第108-109页 |
| ·Huygens 原理的近似表达式 | 第109-111页 |
| ·光栅光谱成像的傅里叶变换式 | 第111-112页 |
| ·利用衍射波前求解光栅分辨本领 | 第112-119页 |
| ·衍射谱分布求解的归一化计算式 | 第112-114页 |
| ·利用泽尼克多项式求解衍射光栅分辨本领的模型 | 第114-115页 |
| ·泽尼克多项式对光栅分辨本领的影响 | 第115-117页 |
| ·衍射光栅分辨本领测试实验 | 第117-119页 |
| ·光栅刻划机实时监测 | 第119-122页 |
| ·基于刻槽误差的衍射波前实时构造 | 第119-120页 |
| ·光栅刻划机实时监测实验 | 第120-122页 |
| ·本章小结 | 第122-123页 |
| 第6章 总结与展望 | 第123-125页 |
| ·论文工作总结 | 第123-124页 |
| ·展望 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-131页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第131-132页 |
| 指导教师及作者简介 | 第132-133页 |
| 致谢 | 第133页 |
