| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-35页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第13-25页 |
| ·平场全息凹面光栅 | 第14-18页 |
| ·平场全息凹面光栅像差理论 | 第18-20页 |
| ·平场全息凹面光栅制作工艺 | 第20-23页 |
| ·平场全息凹面光栅光谱仪 | 第23-25页 |
| ·国内外研究现状 | 第25-32页 |
| ·平场全息凹面光栅像差理论研究现状 | 第26-28页 |
| ·平场全息凹面光栅制作关键技术研究现状 | 第28-31页 |
| ·平场全息凹面光栅光谱仪研究现状 | 第31-32页 |
| ·论文的主要研究内容和结构安排 | 第32-35页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第32页 |
| ·论文的结构安排 | 第32-35页 |
| 第2章 优化函数对平场全息凹面光栅设计结果的影响 | 第35-61页 |
| ·引言 | 第35-36页 |
| ·符号规则 | 第36页 |
| ·平场全息凹面光栅的光程函数 | 第36-42页 |
| ·光线追迹点列图 | 第42-46页 |
| ·优化函数 | 第46-59页 |
| ·基于像差系数的优化函数 | 第47-53页 |
| ·基于点列图的优化函数 | 第53-58页 |
| ·两种优化函数的比较 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第3章 基于平场弧矢焦线的平场全息凹面光栅设计方法 | 第61-75页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·平场弧矢焦线 | 第62-63页 |
| ·基于拟合子午焦线与平场弧矢焦线的优化方法 | 第63-67页 |
| ·基于点列图的优化方法 | 第67-68页 |
| ·不同方法设计的光栅对狭缝成像的比较 | 第68-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第4章 平场全息凹面光栅结构参量之间的误差补偿作用 | 第75-87页 |
| ·引言 | 第75-76页 |
| ·曲率半径误差对光谱像的影响 | 第76-78页 |
| ·制作结构误差对光谱像的影响 | 第78-80页 |
| ·使用结构误差对光谱像的影响 | 第80-81页 |
| ·平场全息凹面光栅结构参量之间的误差补偿作用 | 第81-84页 |
| ·本章小结 | 第84-87页 |
| 第5章 非对称曝光及其显影的理论模拟与实时监测 | 第87-101页 |
| ·引言 | 第87-88页 |
| ·非对称曝光及其显影的理论模拟 | 第88-95页 |
| ·非对称曝光模型 | 第88-91页 |
| ·非对称曝光条件下的显影模型 | 第91-95页 |
| ·非对称曝光及其显影的实时监测 | 第95-99页 |
| ·非对称曝光的实时监测 | 第95-97页 |
| ·非对称曝光条件下显影的实时监测 | 第97-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 第6章 双光栅切换平场全息凹面光栅光谱仪 | 第101-125页 |
| ·引言 | 第101-102页 |
| ·双光栅切换平场全息凹面光栅光谱仪的优化设计 | 第102-108页 |
| ·设计原理 | 第102-103页 |
| ·设计结果 | 第103-104页 |
| ·像质评价 | 第104-106页 |
| ·双光栅光谱仪在光谱分辨率上的改善 | 第106-108页 |
| ·双光栅光谱仪用平场全息凹面光栅研制 | 第108-118页 |
| ·光栅I 槽形设计 | 第108-110页 |
| ·光栅II 槽形设计 | 第110-112页 |
| ·双光栅光谱仪在通光效率上的改善 | 第112-113页 |
| ·平场全息凹面光栅制作结果 | 第113-117页 |
| ·衍射效率测试结果 | 第117-118页 |
| ·双光栅切换平场全息凹面光栅光谱仪测试 | 第118-124页 |
| ·光谱仪结构设计 | 第118-119页 |
| ·CCD 探测器 | 第119页 |
| ·光栅I 测试结果 | 第119-122页 |
| ·光栅II 测试结果 | 第122-124页 |
| ·本章小结 | 第124-125页 |
| 第7章 总结与展望 | 第125-127页 |
| ·论文工作总结 | 第125-126页 |
| ·展望 | 第126-127页 |
| 参考文献 | 第127-135页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第135-137页 |
| 指导教师及作者简介 | 第137-138页 |
| 致谢 | 第138页 |