玻璃基ZnO基薄膜的喷雾热分解法制备和表征
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-29页 |
| ·透明导电膜 | 第9-10页 |
| ·透明导电薄膜代表性材料 | 第10-17页 |
| ·In_2O_3透明导电薄膜 | 第12-13页 |
| ·SnO_2透明导电薄膜 | 第13-15页 |
| ·ZnO透明导电薄膜 | 第15-17页 |
| ·透明导电膜的制备方法 | 第17-25页 |
| ·真空蒸发镀膜法 | 第17-19页 |
| ·磁控溅射法 | 第19-21页 |
| ·脉冲激光法 | 第21页 |
| ·化学气相沉积法(CVD) | 第21-22页 |
| ·喷雾热分解法 | 第22-25页 |
| ·喷雾热分解发生的过程 | 第24-25页 |
| ·喷雾热解法的特点 | 第25页 |
| ·选题角度的确定 | 第25-26页 |
| ·论文的意义及主要内容 | 第26-29页 |
| ·主要研究内容 | 第27-29页 |
| 第2章 实验部分 | 第29-37页 |
| ·实验装置和试剂 | 第29页 |
| ·实验装置 | 第29页 |
| ·实验试剂 | 第29页 |
| ·玻璃清洗 | 第29-30页 |
| ·前躯体的制备 | 第30-31页 |
| ·样品制备 | 第31-32页 |
| ·分析测试方法 | 第32-37页 |
| ·薄膜紫外-可见光透过率测定 | 第32-33页 |
| ·薄膜光学常数的确定 | 第33-34页 |
| ·薄膜结构测定 | 第34页 |
| ·薄膜表面形貌测定 | 第34-35页 |
| ·薄膜方块电阻的测定 | 第35-37页 |
| 第3章 ZnO薄膜结构及性能的表征 | 第37-45页 |
| ·ZnO薄膜的厚度估算 | 第37-38页 |
| ·ZnO薄膜结构 | 第38-39页 |
| ·基板温度对薄膜性能的影响 | 第39-43页 |
| ·基片温度对ZnO薄膜电学性能的影响 | 第39-41页 |
| ·基片温度对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第41页 |
| ·ZnO薄膜的表面形貌 | 第41-43页 |
| ·前躯体浓度对薄膜性能的影响 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 掺杂ZnO制备及其性能表征 | 第45-54页 |
| ·ZnO薄膜结构 | 第45-46页 |
| ·掺杂对薄膜性能的影响 | 第46-52页 |
| ·ZnO薄膜电学性能 | 第46-48页 |
| ·ZnO薄膜的光学性能 | 第48-52页 |
| ·退火对ZnO电导率的影响 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 硕士期间所发表论文 | 第61页 |
