| 摘要 | 第8-9页 |
| Abstract | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第10-27页 |
| 1.1 气敏传感器简介及分类 | 第10-11页 |
| 1.2 半导体气敏传感器 | 第11-14页 |
| 1.2.1 半导体气敏传感器分类 | 第12页 |
| 1.2.2 半导体气敏传感器气敏机理 | 第12-13页 |
| 1.2.3 半导体气敏传感器性能测试 | 第13-14页 |
| 1.3 ZnO、SnO_2气敏材料简介 | 第14-18页 |
| 1.3.1 ZnO气敏材料简介及研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.2 SnO_2气敏材料简介及研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4 ZnO、SnO_2气敏材料的改性 | 第18-22页 |
| 1.5 本课题的选题意义及主要工作 | 第22-23页 |
| 1.5.1 本课题的选题意义 | 第22页 |
| 1.5.2 主要工作 | 第22-23页 |
| 参考文献 | 第23-27页 |
| 第二章 气敏材料的制备及表征方法 | 第27-34页 |
| 2.1 ZnO、SnO_2气敏材料的制备方法 | 第27-30页 |
| 2.1.1 磁控溅射法 | 第27-28页 |
| 2.1.2 高能机械球磨法 | 第28页 |
| 2.1.3 静电纺丝法 | 第28页 |
| 2.1.4 水热合成法 | 第28-30页 |
| 2.1.5 微乳液法 | 第30页 |
| 2.1.6 溶胶-凝胶法 | 第30页 |
| 2.2 ZnO、SnO_2气敏材料的表征方法 | 第30-32页 |
| 2.2.1 X-射线衍射(XRD) | 第30页 |
| 2.2.2 X-射线光电子能谱(XPS) | 第30-31页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第31页 |
| 2.2.4 透射电子显微镜(TEM) | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-34页 |
| 第三章 Pr掺杂ZnO/SnO_2纳米花的制备表征及其气敏性能测试 | 第34-52页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 实验部分 | 第34-38页 |
| 3.2.1 实验试剂和装置 | 第34-36页 |
| 3.2.2 Pr掺杂ZnO/SnO_2纳米花的制备 | 第36-37页 |
| 3.2.3 样品的表征 | 第37页 |
| 3.2.4 传感器的制备 | 第37-38页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第38-47页 |
| 3.3.1 样品XRD分析 | 第38-40页 |
| 3.3.2 样品EDX、XPS分析 | 第40-41页 |
| 3.3.3 形貌分析 | 第41-43页 |
| 3.3.4 样品的气敏特性分析 | 第43-47页 |
| 3.3.5 气敏机理 | 第47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 第四章 总结及展望 | 第52-54页 |
| 4.1 总结 | 第52页 |
| 4.2 展望 | 第52-54页 |
| 附录：硕士期间发表的论文 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |