| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章:绪论 | 第10-23页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·光网络与光开关 | 第11页 |
| ·常见的光波导开关结构 | 第11-14页 |
| ·硅基光电子学 | 第14-17页 |
| ·硅基载流子注入型的全内反射光开关的研究 | 第17-21页 |
| ·本文的工作与意义 | 第21-23页 |
| 第二章:基础型全内反射光开关的设计制作 | 第23-42页 |
| ·基本原理 | 第23-25页 |
| ·器件模真与设计 | 第25-33页 |
| ·器件制作及测试 | 第33-41页 |
| ·失败原因分析 | 第41-42页 |
| 第三章:电极与热光热应对全内反射光开关的性能影响分析 | 第42-57页 |
| ·铝电极对静态效应的影响 | 第42-47页 |
| ·热效应对全内反射光开关动态性能的影响 | 第47-57页 |
| ·SOI光器件中热光效应的影响分析 | 第47-55页 |
| ·热光效应对全内反射光开关的影响 | 第55-57页 |
| 第四章:新型小截面全内反射光开关的设计 | 第57-62页 |
| 第五章:总结与展望 | 第62-64页 |
| ·总结 | 第62-63页 |
| ·不足与展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第69页 |