| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 自供电压力传感器的研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 自供电压力传感器的研究进展 | 第11-20页 |
| 1.2.1 压电纳米发电 | 第11-13页 |
| 1.2.2 热电纳米发电 | 第13-14页 |
| 1.2.3 热释电纳米发电 | 第14-15页 |
| 1.2.4 摩擦电纳米发电 | 第15-20页 |
| 1.3 本论文研究工作 | 第20-22页 |
| 第二章 自供电压力传感器的发电原理和结构设计 | 第22-36页 |
| 2.1 摩擦起电效应 | 第22-25页 |
| 2.1.1 摩擦效应 | 第22页 |
| 2.1.2 摩擦发电工作原理 | 第22-25页 |
| 2.2 摩擦发电的研究进展 | 第25-30页 |
| 2.3 基于PDMS-PET的摩擦发电结构的电学性能仿真 | 第30-33页 |
| 2.3.1 有限元分析方法简介 | 第30-31页 |
| 2.3.2 COMSOLMultiphysics简介 | 第31-32页 |
| 2.3.3 摩擦发电结构电学性能仿真 | 第32-33页 |
| 2.4 自供电压力传感器的结构设计 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 自供电压力传感器的材料性能分析及工艺流程 | 第36-44页 |
| 3.1 敏感材料制备与性能分析 | 第36-40页 |
| 3.1.1 实验材料及设备 | 第36-38页 |
| 3.1.2 敏感材料制备 | 第38-40页 |
| 3.2 关键工艺讨论 | 第40-41页 |
| 3.2.1 光刻和干法刻蚀 | 第40-41页 |
| 3.2.2 疏水膜工艺 | 第41页 |
| 3.3 自供电压力传感器的组装 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 性能测试与分析 | 第44-56页 |
| 4.1 自供电压力传感器功能性测试 | 第44-45页 |
| 4.2 输出性能的分析 | 第45-52页 |
| 4.3 自供电压力传感器的应用 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 工作总结 | 第56页 |
| 5.2 工作展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 作者简介 | 第64页 |