嵌入测力薄膜传感器刀具的结构设计及工艺参数分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究的背景目的及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 测力仪的研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3 薄膜传感器的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 薄膜传感器刀具结构分析与设计 | 第17-46页 |
| 2.1 刀具受力与输出特性之间的关系 | 第17-22页 |
| 2.1.1 刀具受力原理分析 | 第17-19页 |
| 2.1.2 传感器工作原理分析 | 第19-22页 |
| 2.2 刀具刀柄结构基础设计研究 | 第22-33页 |
| 2.2.1 刀具强度与截面惯性矩关系分析 | 第22-23页 |
| 2.2.2 刀具截面矩形槽结构设计 | 第23-27页 |
| 2.2.3 刀具截面三角形槽结构设计 | 第27-29页 |
| 2.2.4 刀具截面椭圆形槽结构设计 | 第29-33页 |
| 2.2.5 槽型结构分析与选择 | 第33页 |
| 2.3 刀具刀柄结构具体设计 | 第33-44页 |
| 2.3.1 矩形槽结构优化设计 | 第33-39页 |
| 2.3.2 椭圆形槽结构优化设计 | 第39-43页 |
| 2.3.3 七种槽型结构对比 | 第43-44页 |
| 2.4 弹性基底结构设计 | 第44-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 3 刀具结构建模与仿真分析 | 第46-58页 |
| 3.1 软件介绍 | 第46-47页 |
| 3.1.1 三维建模软件 | 第46-47页 |
| 3.1.2 有限元分析软件 | 第47页 |
| 3.2 刀具结构建模与仿真 | 第47-57页 |
| 3.2.1 基底厚度优化分析 | 第47-49页 |
| 3.2.2 刀具结构建模及分析 | 第49-57页 |
| 3.3 仿真结果与计算结果对比分析 | 第57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 嵌入薄膜传感器工艺参数分析 | 第58-78页 |
| 4.1 弹性基底工艺研究 | 第58-65页 |
| 4.1.1 弹性基底抛光工艺 | 第58-64页 |
| 4.1.2 不锈钢基底表面的清洗 | 第64-65页 |
| 4.2 薄膜绝缘层的制备 | 第65-68页 |
| 4.2.1 绝缘膜制备仪器 | 第65-66页 |
| 4.2.2 绝缘膜制备工艺研究 | 第66-68页 |
| 4.3 绝缘膜制备工艺参数分析 | 第68-77页 |
| 4.3.1 试验设计 | 第68-69页 |
| 4.3.2 绝缘膜沉积速率、表面粗糙度的极差分析 | 第69-72页 |
| 4.3.3 薄膜质量特性的经验公式及参数优化分析 | 第72-77页 |
| 4.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 5 总结与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 总结 | 第78-79页 |
| 5.2 创新点 | 第79页 |
| 5.3 展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
