| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 符号对照表 | 第12-14页 |
| 缩略语对照表 | 第14-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-28页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第18页 |
| 1.2 精密定位平台的分类和研究现状 | 第18-26页 |
| 1.2.1 微定位系统的构成及分类 | 第18-20页 |
| 1.2.2 微定位系统的发展现状 | 第20-26页 |
| 1.3 论文的研究内容及结构安排 | 第26-28页 |
| 第二章 精密定位平台的性能分析及建模 | 第28-42页 |
| 2.1 定位平台的工作原理简介 | 第28-29页 |
| 2.2 定位平台静力学性能分析 | 第29-33页 |
| 2.2.1 平面柔顺梁的约束方程 | 第29-30页 |
| 2.2.2 复合平行四边形柔顺定位模块（CBPM） | 第30-32页 |
| 2.2.3 双平行四边形柔顺定位模块（DPM） | 第32-33页 |
| 2.2.4 平台的整体设计尺寸参数 | 第33页 |
| 2.3 定位平台动力学模型及传递函数 | 第33-37页 |
| 2.3.1 定位平台动力学模型 | 第33-36页 |
| 2.3.2 定位平台的传递函数 | 第36-37页 |
| 2.4 定位平台的加工及静力学实验 | 第37-40页 |
| 2.4.1 簧片式定位平台的样机加工 | 第37-38页 |
| 2.4.2 定位平台的固有频率测试 | 第38-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第三章 精密定位平台的控制方案设计及设备选型 | 第42-54页 |
| 3.1 精密定位平台的控制方案比较 | 第42-44页 |
| 3.1.1 以微处理器为核心的闭环控制系统 | 第42-43页 |
| 3.1.2 以PLC为核心的闭环控制系统 | 第43页 |
| 3.1.3 以数据采集卡为核心的闭环控制系统 | 第43-44页 |
| 3.2 微定位伺服系统的硬件设备选型 | 第44-50页 |
| 3.2.1 主控单元设计 | 第45-46页 |
| 3.2.2 数据采集卡选型 | 第46-47页 |
| 3.2.3 致动器选型 | 第47页 |
| 3.2.4 电机驱动器选型 | 第47-49页 |
| 3.2.5 位置检测元件选型 | 第49-50页 |
| 3.3 音圈电机的数学模型建立 | 第50-53页 |
| 3.3.1 音圈电机的工作原理 | 第50-51页 |
| 3.3.2 音圈电机的数学模型 | 第51-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 精密定位平台的控制策略研究 | 第54-70页 |
| 4.1 解耦控制策略设计 | 第54-57页 |
| 4.1.1 反馈控制解耦策略 | 第55-56页 |
| 4.1.2 前馈补偿解耦策略 | 第56-57页 |
| 4.2 闭环控制算法设计 | 第57-63页 |
| 4.2.1 一维定位平台伺服控制系统 | 第57-58页 |
| 4.2.2 传统的PID控制算法 | 第58-59页 |
| 4.2.3 改进的PID控制算法 | 第59-63页 |
| 4.3 闭环控制算法仿真及实现 | 第63-67页 |
| 4.3.1 控制算法仿真 | 第63-66页 |
| 4.3.2 控制算法实现 | 第66-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-70页 |
| 第五章 实验环境的搭建及降噪处理 | 第70-84页 |
| 5.1 噪声对伺服控制系统的影响 | 第70-71页 |
| 5.2 实验设备接地处理 | 第71-74页 |
| 5.2.1 电机驱动器接地方式 | 第71-72页 |
| 5.2.2 数据采集卡接地方式 | 第72-73页 |
| 5.2.3 伺服系统整体接地方案 | 第73-74页 |
| 5.3 滤波降噪处理 | 第74-79页 |
| 5.3.1 过采样均值滤波 | 第74-76页 |
| 5.3.2 最小均方自适应滤波 | 第76-77页 |
| 5.3.3 降噪结果对比及选取依据 | 第77-79页 |
| 5.4 实验结果及分析 | 第79-83页 |
| 5.4.1 单轴阶跃响应实验 | 第80-81页 |
| 5.4.2 位移分辨力实验 | 第81-82页 |
| 5.4.3 两轴联合运动实验 | 第82-83页 |
| 5.5 本章小结 | 第83-84页 |
| 第六章 总结与展望 | 第84-86页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第84页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-92页 |
| 致谢 | 第92-94页 |
| 作者简介 | 第94-95页 |