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金属硫化物半导体的表面态调控及在臭氧检测中的应用

摘要第2-3页
Abstract第3-4页
第一章 绪论第7-22页
    1.1 气体传感器的概述第7-11页
        1.1.1 气体传感器的发展概况第7-8页
        1.1.2 气体传感器的分类第8-9页
        1.1.3 气体传感器气敏测试的主要指标第9-11页
    1.2 二维层状纳米材料的概述第11-13页
        1.2.1 石墨烯第11-12页
        1.2.2 黑磷第12页
        1.2.3 过渡金属硫化物第12-13页
    1.3 二维纳米材料MoS_2的概述第13-19页
        1.3.1 二维纳米材料MoS_2的结构及其形貌特点第13-15页
        1.3.2 二维纳米材料MoS_2的制备方法第15-17页
            1.3.2.1 微机械剥离法第15-16页
            1.3.2.2 超声液相剥离法第16页
            1.3.2.3 化学气相沉积法第16页
            1.3.2.4 嵌锂法第16页
            1.3.2.5 水热法第16-17页
            1.3.2.6 其他制备方法第17页
        1.3.3 二维纳米材料MoS_2的表征方法第17-19页
            1.3.3.1 X射线衍射(XRD)第17-18页
            1.3.3.2 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)第18页
            1.3.3.3 透射电子显微镜(TEM)第18页
            1.3.3.4 X射线光电子能谱(XPS)第18-19页
    1.4 本论文的研究目的及意义第19-20页
    1.5 本论文的研究内容第20-21页
    1.6 本论文的研究创新点第21-22页
第二章 Zn~(2+)掺杂MoS_2超薄纳米片传感器阵列实现对臭氧的判别和快速检测第22-37页
    2.1 引言第22-23页
    2.2 实验部分第23-24页
        2.2.1 材料准备第23页
        2.2.2 器件制造与测试第23-24页
        2.2.3 表征第24页
    2.3 结果与讨论第24-36页
        2.3.1 Zn~(2+)掺杂MoS_2超薄纳米片第24-27页
        2.3.2 传感器阵列的制造与测试第27-31页
        2.3.3 传感器阵列的判别能力第31-33页
        2.3.4 分析可能的传感机制第33-36页
    2.4 本章小结第36-37页
第三章 MoS_2超薄纳米片的表面改性第37-44页
    3.1 引言第37页
    3.2 实验部分第37-39页
        3.2.1 材料准备第37-38页
        3.2.2 器件制造与测试第38页
        3.2.3 表征第38-39页
    3.3 结果分析与讨论第39-43页
        3.3.1 MoS_2UNs的表面改性第39-40页
        3.3.2 传感器阵列的制造与测试第40-42页
        3.3.3 传感器阵列的判别能力第42-43页
    3.4 本章小结第43-44页
第四章 总结与展望第44-46页
    4.1 总结第44-45页
    4.2 展望第45-46页
参考文献第46-52页
在读期间发表论文第52-53页
致谢第53-54页

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