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双钙钛矿LaBaCo2O5+δ薄膜的制备及其氧敏性质研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第一章 绪论第13-35页
    前言第13-14页
    1.1 钙钛矿氧化物材料概述第14-17页
        1.1.1 钙钛矿型氧化物材料的发展历程第14页
        1.1.2 钙钛矿型氧化物材料的应用第14-16页
            1.1.2.1 固体氧化物燃料电池(SOFC)的阴极材料第14-15页
            1.1.2.2 多功能导电材料第15页
            1.1.2.3 氧分离膜材料第15-16页
            1.1.2.4 催化剂材料第16页
            1.1.2.5 气敏材料第16页
        1.1.3 钙钛矿型氧化物材料挑战和展望第16-17页
    1.2 LaBaCo_2O_(5+δ) 结构介绍第17-21页
        1.2.1 立方钙钛矿结构第17-19页
        1.2.2 层状钙钛矿结构第19-20页
        1.2.3 双层钙钛矿结构第20-21页
    1.3 (LaBa)Co_2O_(5+δ) 材料的结构第21-22页
    1.4 半导体气体传感器的的研究现状第22-30页
        1.4.1 引言第22页
        1.4.2 气体传感器的定义及分类第22-28页
            1.4.2.1 气体传感器的定义第22-23页
            1.4.2.2 气体传感器的分类第23-26页
            1.4.2.3 气体传感器的性能指标第26-27页
            1.4.2.4 响应时间和恢复时间第27页
            1.4.2.5 半导体氧化物气体传感器的发展历史第27-28页
        1.4.3 钙钛矿复合氧化物半导体气敏传感器研究现状及进展第28-30页
    1.5 薄膜材料的制备工艺简介第30-33页
        1.5.1 脉冲激光沉积(PLD)第30-31页
        1.5.2 金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)第31-32页
        1.5.3 溶胶-凝胶法第32页
        1.5.4 高分子辅助沉积法(PAD)第32-33页
    1.6 本论文研究的目的及意义第33页
    1.7 本论文的结构安排第33-35页
第二章 实验药品及仪器表征方法第35-46页
    2.1 实验药品及仪器第35-36页
    2.2 本论文所用的仪器及表征方法第36-46页
        2.2.1 电感耦合等离子发射谱仪(ICP-OES)第36页
        2.2.2 匀胶机第36-37页
        2.2.3 X射线衍射分析第37-38页
        2.2.4 原子力显微镜第38-39页
        2.2.5 扫描电子显微镜第39页
        2.2.6 透射电镜第39-40页
        2.2.7 拉曼光谱测试仪第40-41页
        2.2.8 电化学阻抗谱的测试与分析方法第41-42页
        2.2.9 LBCO薄膜电输运及气敏测试装置介绍第42-46页
            2.2.9.1 仪器及装置介绍第42页
            2.2.9.2 自制高温四探针电阻测试装置介绍第42-44页
            2.2.9.3 电阻-温度测试装置介绍第44-46页
第三章 LaBaCo_2O_(5+δ) 薄膜材料制备工艺研究第46-69页
    3.1 高分子辅助沉积法制备薄膜工艺第46-49页
        3.1.1 高分子辅助沉积(PAD)法基本原理第46-47页
        3.1.2 LBCO薄膜的制备过程第47-49页
    3.2 LaBaCo_2O_(5+δ) 薄膜材料的制备第49-52页
        3.2.1 基片的选择与缓冲层的制备第49-50页
        3.2.2 LBCO薄膜制备工艺流程第50-52页
    3.3 工艺因素对LBCO薄膜的影响第52-60页
        3.3.1 缓冲层的作用第52-54页
        3.3.2 不同烧结条件LBCO薄膜相组成和形貌第54-59页
        3.3.3 最佳烧结条件下样品的SEM和TEM分析第59-60页
    3.4 LBCO薄膜材料的电化学性质研究第60-68页
        3.4.1 电化学阻抗谱第61-63页
        3.4.2 LBCO薄膜的阻抗谱研究第63-68页
    3.5 本章小结第68-69页
第四章 LaBaCo_2O_(5+δ) 薄膜的电输运研究第69-84页
    4.1 LBCO中的载流子第69-70页
        4.1.1 LBCO中的电荷补偿效应与钴离子混合价状态第69-70页
        4.1.2 LBCO中的氧空位及其电特性第70页
        4.1.3 LBCO中的电子电导与离子电导第70页
    4.2 LBCO薄膜中的空穴导电过程第70-73页
        4.2.1 极化子理论概述第70-71页
        4.2.2 LBCO薄膜的电子型电导机制第71-73页
    4.3 LBCO薄膜材料的制备条件对薄膜电输运性能的影响第73-79页
        4.3.1 测试装置第73-74页
        4.3.2 烧结温度对薄膜电输运性质的影响第74-77页
        4.3.3 烧结时间对薄膜电输运性质的影响第77-79页
    4.4 LBCO薄膜的电输运性及循环可逆性研究第79-81页
    4.5 氧气含量对LBCO薄膜的电输运性影响第81-82页
    4.6 本章小结第82-84页
第五章 LaBaCo_2O_(5+δ) 薄膜材料的氧敏特性的研究第84-107页
    前言第84页
    5.1 氧传感器分类第84-86页
        5.1.1 按照工作原理分类第84-86页
            5.1.1.1 浓差电池型氧传感器第84-85页
            5.1.1.2 电化学泵型氧传感器第85页
            5.1.1.3 氧化物半导体氧传感器第85-86页
    5.2 氧敏传感技术的发展历程、现状以及趋势第86-87页
    5.3 LaBaCo_2O_(5+δ) 材料中的氧空位分布和氧离子的运动第87-93页
        5.3.1 双钙钛矿层状结构中氧空位的分布第88-89页
        5.3.2 LBCO材料中不同化学计量比与Co-O团簇的原子结构关系第89-90页
        5.3.3 氧离子在LBCO材料中的运动第90-92页
        5.3.4 氧气分子在材料LaBaCo_2O_(5+δ) 表面的吸附与解离第92-93页
    5.4 LBCO薄膜氧敏特性研究第93-101页
        5.4.1 测试设备简介第93页
        5.4.2 烧结工艺对LBCO薄膜的氧气敏感性能影响第93-98页
            5.4.2.1 烧结温度对LBCO材料氧敏性能的影响第94-97页
            5.4.2.2 烧结时间对LBCO材料气敏性能的影响第97-98页
        5.4.3 测试温度对LBCO材料气敏性能的影响第98-99页
        5.4.4 氧气脉冲流量及氧气浓度对LBCO薄膜氧敏性能的影响第99-100页
        5.4.5 氧气的浓度对氧敏性能的影响第100-101页
    5.5 电阻型LBCO薄膜氧敏机理的初探第101-106页
        5.5.1 现有电阻型氧敏半导体氧敏机理简述第101-102页
            5.5.1.1 原子价键控制模型第101-102页
            5.5.1.2 表面电荷层模型第102页
            5.5.1.3 晶界势垒模型第102页
        5.5.2 关于LBCO薄膜氧敏机理的讨论第102-106页
            5.5.2.1 LBCO薄膜的氧敏特点第102-103页
            5.5.2.2 氧在LBCO中的作用第103-104页
            5.5.2.3 钴离子在LBCO薄膜氧敏中的作用第104-105页
            5.5.2.4 材料结构的影响第105-106页
    5.6 本章小结第106-107页
第六章 结论第107-109页
致谢第109-110页
参考文献第110-124页
博士期间取得的研究成果第124-125页

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