| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 超级电容器 | 第10-13页 |
| 1.2.1 超级电容器概述 | 第10页 |
| 1.2.2 双电层电容器及其电极材料 | 第10-12页 |
| 1.2.3 伪电容器及其电极材料 | 第12页 |
| 1.2.4 超级电容器面临的挑战 | 第12-13页 |
| 1.3 石墨烯材料及其在超级电容器中的应用 | 第13-19页 |
| 1.3.1 石墨烯材料在超级电容器电极材料上应用的优势 | 第14-15页 |
| 1.3.2 石墨烯制备方法 | 第15-19页 |
| 1.3.2.1 胶带剥离法 | 第15页 |
| 1.3.2.2 化学气相沉积方法 | 第15页 |
| 1.3.2.3 氧化石墨还原法 | 第15-17页 |
| 1.3.2.4 等离子体化学气相沉积法 | 第17-19页 |
| 1.4 本课题主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 试验材料、设备及方法 | 第20-26页 |
| 2.1 试验材料和试剂 | 第20页 |
| 2.2 实验设备及方法 | 第20-24页 |
| 2.2.1 等离子体化学气相沉积 | 第20-21页 |
| 2.2.2 电化学性能测试 | 第21-24页 |
| 2.3 材料表征测试 | 第24-26页 |
| 2.3.1 拉曼（Raman）测试 | 第24-25页 |
| 2.3.2 扫描电镜（SEM）分析 | 第25页 |
| 2.3.3 透射电镜（TEM）分析 | 第25页 |
| 2.3.4 X射线光电子（XPS）分析 | 第25-26页 |
| 第3章 PECVD方法原位制备VFG工艺研究 | 第26-38页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 Pt/Si基底原位生长VFG及参数优化 | 第26-34页 |
| 3.2.1 生长温度的影响 | 第26-27页 |
| 3.2.2 工作压强的影响 | 第27-29页 |
| 3.2.3 生长时间的影响 | 第29-30页 |
| 3.2.4 射频功率的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.5 气体流量比的影响 | 第31-34页 |
| 3.3 制备VFG的最佳工艺参数及其表征结果 | 第34-35页 |
| 3.4 Pt基底上垂直生长VFG的机理分析 | 第35-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 VFG的超级电容器性能研究 | 第38-52页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 VFG表面状态对电化学性能的影响 | 第38-41页 |
| 4.3 VFG缺陷对电化学性能的影响 | 第41-47页 |
| 4.4 VFG超级电容器的电化学性能表征结果 | 第47-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 等离子体表面改性对VFG超级电容器性能影响的研究 | 第52-63页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 氩离子束垂直平面刻蚀对VFG电化学性能影响 | 第52-55页 |
| 5.2.1 表面处理实验过程 | 第52-53页 |
| 5.2.2 表面处理后VFG形貌及电化学性能分析 | 第53-55页 |
| 5.3 氩离子束倾斜平面刻蚀对VFG电化学性能影响 | 第55-62页 |
| 5.3.1 表面处理实验过程 | 第55-56页 |
| 5.3.2 氩离子单面和双面刻蚀对电化学性能影响 | 第56-58页 |
| 5.3.3 氩离子双面刻蚀表面处理时间对电化学性能影响 | 第58-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
