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微纳尺度多孔表面用于半导体制冷热端强化散热的实验研究

中文摘要第11-13页
ABSTRACT第13-14页
符号说明第16-17页
第一章 绪论第17-23页
    1.1 研究背景及意义第17页
    1.2 半导体系统热端散热第17-19页
        1.2.1 空气自然对流散热第18页
        1.2.2 空气强制对流散热第18页
        1.2.3 接触式导热散热第18页
        1.2.4 相变散热第18-19页
        1.2.5 液体冷却循环散热第19页
    1.3 微纳尺度多孔表面强化换热国内外研究现状第19-21页
        1.3.1 火焰喷涂法第19-20页
        1.3.2 烧结金属法第20页
        1.3.3 电化学腐蚀法第20-21页
        1.3.4 覆盖金属网法第21页
    1.4 本文主要研究内容第21-23页
        1.4.1 陶瓷表面金属薄膜的制备第21页
        1.4.2 微纳尺度多孔表面的制备第21页
        1.4.3 沸腾传热实验平台及实验研究第21-22页
        1.4.4 半导体制冷系统实验平台及实验研究第22-23页
第二章 微纳尺度多孔表面的制备第23-31页
    2.1 陶瓷表面金属薄膜的制备第23-25页
        2.1.1 非金属电镀介绍第23页
        2.1.2 化学镀实验仪器与药品第23页
        2.1.3 化学镀实验步骤第23-25页
    2.2 微纳尺度多孔表面的制备第25-29页
        2.2.1 电镀实验原理分析第25-27页
        2.2.2 电镀实验仪器及药品第27-28页
        2.2.3 电镀实验步骤第28-29页
    2.3 实验结果分析第29-30页
    2.4 本章小结第30-31页
第三章 沸腾换热实验平台及实验研究第31-45页
    3.1 沸腾换热传热基础第31-33页
        3.1.1 沸腾换热理论基础第31-32页
        3.1.2 沸腾换热实验原理第32-33页
    3.2 沸腾换热实验平台的设计及测试步骤第33-36页
        3.2.1 沸腾换热实验系统整体设计第33-35页
        3.2.2 池沸腾实验实验步骤第35-36页
    3.3 误差分析第36-39页
        3.3.1 系统误差第36-38页
        3.3.2 直接测量误差第38页
        3.3.3 间接测量误差第38-39页
    3.4 沸腾换热实验传热性能测试及实验数据分析第39-43页
        3.4.1 不同多孔表面沸腾传热性能测试第39页
        3.4.2 实验数据处理方法第39-41页
        3.4.3 不同表面沸腾传热性能分析第41-43页
    3.5 本章小节第43-45页
第四章 半导体制冷系统换热实验平台及实验研究第45-61页
    4.1 半导体制冷实验系统平台的搭建第45-49页
        4.1.1 实验设备及仪器第45-46页
        4.1.2 四种散热方式的设计规范第46-48页
        4.1.3 半导体制冷换热实验系统的搭建第48-49页
    4.2 半导体制冷系统换热实验测试步骤第49-51页
    4.3 误差分析第51-52页
    4.4 半导体制冷系统换热实验结果及数据分析第52-58页
        4.4.1 不同散热器对半导体制冷系统制冷量的影响第52-55页
        4.4.2 不同散热器对半导体制冷系统能效比的影响第55-57页
        4.4.3 不同环境温度下散热器对半导体制冷系统制冷性能的影响第57-58页
    4.5 本章小结第58-61页
第五章 结论与展望第61-65页
    5.1 结论第61-63页
    5.2 创新点第63页
    5.3 展望第63-65页
参考文献第65-69页
致谢第69-70页
攻读学位期间发表的学术论文和参加科研情况第70-71页
学位论文评阅及答辩情况表第71页

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