| 摘要 | 第11-13页 |
| ABSTRACT | 第13-15页 |
| 第一章 绪论 | 第16-34页 |
| 1.1 铁电薄膜简介 | 第16-21页 |
| 1.1.1 引言 | 第16-18页 |
| 1.1.2 铁电材料历史与分类 | 第18-20页 |
| 1.1.3 铁电薄膜的特点 | 第20页 |
| 1.1.4 铁电薄膜的应用 | 第20-21页 |
| 1.2 特殊铁电薄膜的研究背景及意义 | 第21-23页 |
| 1.2.1 高压电性铁电薄膜的研究背景及意义 | 第21-23页 |
| 1.2.2 双层/多层薄膜的研究背景及意义 | 第23页 |
| 1.3 铁电薄膜制备技术的发展及应用水平 | 第23-29页 |
| 1.3.1 磁控溅射技术及其在铁电薄膜制备中的应用 | 第24-27页 |
| 1.3.2 其他镀膜技术在铁电薄膜制备中的应用 | 第27-29页 |
| 1.4 PZT和BaTiO_3结构及电性能 | 第29-31页 |
| 1.4.1 PZT结构和电性能 | 第29-30页 |
| 1.4.2 BaTiO_3结构和电性能 | 第30-31页 |
| 1.5 PZT及钛酸钡系薄膜中低温制备现状 | 第31-32页 |
| 1.6 本课题研究目的及主要内容 | 第32-34页 |
| 1.6.1 本课题研究的目的和意义 | 第32页 |
| 1.6.2 本课题研究的主要内容 | 第32-34页 |
| 第二章 PZT铁电薄膜的中低温制备与表征 | 第34-42页 |
| 2.1 PZT薄膜及PZT/BaTiO_3双层薄膜的制备 | 第34-37页 |
| 2.1.1 实验原材料及仪器 | 第34页 |
| 2.1.2 PZT薄膜及PZT/BaTiO_3双层薄膜的制备 | 第34-37页 |
| 2.2 PZT铁电薄膜的性能表征 | 第37-40页 |
| 2.2.1 薄膜的形貌、结构表征 | 第37-39页 |
| 2.2.2 薄膜的电学性能表征 | 第39-40页 |
| 2.3 本章小结 | 第40-42页 |
| 第三章 PZT/BaTiO_3双层薄膜的制备与性能研究 | 第42-58页 |
| 3.1 PZT/BaTiO_3双层薄膜结构及制备工艺设计 | 第42-43页 |
| 3.2 PZT/BaTiO_3双层薄膜的原位生长温度探究 | 第43-45页 |
| 3.3 快速退火对PZT/BaTiO_3双层薄膜结构和性能影响 | 第45-49页 |
| 3.3.1 快速退火对PZT/BaTiO_3双层薄膜结构影响 | 第45-46页 |
| 3.3.2 快速退火对PZT/BaTiO_3双层薄膜电性能影响 | 第46-49页 |
| 3.4 500℃下PZT/BaTiO_3双层薄膜结构与性能研究 | 第49-53页 |
| 3.4.1 微观结构 | 第49页 |
| 3.4.2 电学性能 | 第49-53页 |
| 3.5 不同厚度比例PZT/BaTiO_3双层薄膜性能研究 | 第53-56页 |
| 3.5.1 微观结构 | 第53-55页 |
| 3.5.2 电学性能 | 第55-56页 |
| 3.6 本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 PZT铁电薄膜的中低温制备与性能表征 | 第58-72页 |
| 4.1 低温制备的PZT薄膜的性能研究 | 第58-66页 |
| 4.1.1 微观结构 | 第58-60页 |
| 4.1.2 电滞回线 | 第60-62页 |
| 4.1.3 介电及漏电特性 | 第62-63页 |
| 4.1.4 压电特性 | 第63-65页 |
| 4.1.5 循环特性 | 第65-66页 |
| 4.2 中温制备的PZT薄膜的性能研究 | 第66-69页 |
| 4.2.1 微观结构 | 第67页 |
| 4.2.2 电滞回线 | 第67-68页 |
| 4.2.3 介电及漏电性质 | 第68-69页 |
| 4.3 本章小结 | 第69-72页 |
| 第五章 结论与展望 | 第72-76页 |
| 5.1 结论 | 第72-73页 |
| 5.2 展望 | 第73-74页 |
| 5.3 创新点 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-90页 |
| 致谢 | 第90-92页 |
| 附件 | 第92页 |
