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非掺杂多晶半导体薄膜晶体管晶界势垒的解析模型

中文摘要第4-5页
Abstract第5页
第一章 绪论第7-23页
    1.1 面向平板显示的薄膜晶体管第8-11页
        1.1.1 平板显示技术简介第8-9页
        1.1.2 薄膜晶体管介绍第9-11页
    1.2 低温多晶硅 TFT 概述第11-14页
    1.3 晶界势垒的研究背景和现状第14-15页
    1.4 实验样品制备及测试平台简介第15-19页
        1.4.1 实验样品的制备工艺第15-17页
        1.4.2 测试平台简介第17-19页
    1.5 本论文的主要工作及结构安排第19-21页
    参考文献第21-23页
第二章 晶界势垒研究现状及表面势分析方法第23-36页
    2.1 多晶半导体 TFT 的晶界势垒研究现状第23-28页
    2.2 基于表面势的分析方法概述第28-32页
    2.3 朗伯函数(Lambert W function)第32-33页
    2.4 本章小结第33-34页
    参考文献第34-36页
第三章 非掺杂多晶半导体 TFT 晶界势垒解析模型第36-64页
    3.1 晶界势垒解析模型的推导第36-43页
    3.2 解析模型和数值计算的比较第43-45页
    3.3 解析模型的参数分析第45-49页
    3.4 解析模型和势垒实验值的比较第49-54页
    3.5 解析模型和传统模型的比较第54-58页
    3.6 解析模型在 ZnO TFT 中的应用第58-60页
    3.7 本章小结第60-61页
    参考文献第61-64页
第四章 结论及未来工作第64-66页
攻读硕士学位期间发表的论文第66-67页
致谢第67-68页

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