| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第12-29页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 金属氧化物气体传感器 | 第13-17页 |
| 1.2.1 金属氧化物的气敏原理 | 第13-14页 |
| 1.2.2 气敏性能提升的方法 | 第14-17页 |
| 1.3 光/热外场的作用 | 第17-27页 |
| 1.3.1 光外场下金属氧化物的气敏特性 | 第17-20页 |
| 1.3.2 光外场的研究现状 | 第20-22页 |
| 1.3.3 热外场下金属氧化物的气敏特性 | 第22-25页 |
| 1.3.4 热外场的研究现状 | 第25-27页 |
| 1.4 本文的选题思路和主要研究内容 | 第27-29页 |
| 2 光热联合激发下TiO_2对甲醛的气敏性能研究 | 第29-55页 |
| 2.1 引言 | 第29-30页 |
| 2.2 实验部分 | 第30-35页 |
| 2.2.1 实验原料和设备 | 第30页 |
| 2.2.2 材料芯片、材料浆料及气敏材料膜的制备 | 第30-32页 |
| 2.2.3 材料表征平台 | 第32页 |
| 2.2.4 实验平台 | 第32-34页 |
| 2.2.5 测试流程 | 第34-35页 |
| 2.3 实验结果与讨论 | 第35-53页 |
| 2.3.1 TiO_2的形貌表征 | 第35-36页 |
| 2.3.2 不同湿度下TiO_2的甲醛光气敏性能和TGA分析 | 第36-38页 |
| 2.3.3 光热作用下TiO_2对甲醛的气敏性能 | 第38-45页 |
| 2.3.4 Au电极芯片上TiO_2的变色现象及分析 | 第45-51页 |
| 2.3.5 Pt电极芯片上TiO_2的稳定性分析 | 第51-53页 |
| 2.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 3 光调制提高金属氧化物气敏选择性的研究 | 第55-74页 |
| 3.1 引言 | 第55-56页 |
| 3.2 恒温光调制 | 第56-68页 |
| 3.2.1 实验原料和设备 | 第56-57页 |
| 3.2.2 气敏材料的制备及材料芯片的制备 | 第57-58页 |
| 3.2.3 实验平台和测试方法 | 第58-59页 |
| 3.2.4 气敏材料的表征结果 | 第59-60页 |
| 3.2.5 材料膜的气敏性能 | 第60-62页 |
| 3.2.6 光调制的测试结果及特征提取 | 第62-66页 |
| 3.2.7 光调制识别CO的机制 | 第66-68页 |
| 3.3 快速光调制 | 第68-73页 |
| 3.3.1 传感器材料及测试方法 | 第69-70页 |
| 3.3.2 数据处理 | 第70-72页 |
| 3.3.3 机制分析 | 第72-73页 |
| 3.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 4 热调制提高金属氧化物气体敏感性的研究 | 第74-105页 |
| 4.1 引言 | 第74-75页 |
| 4.2 实验部分 | 第75-80页 |
| 4.2.1 实验原料和设备 | 第75-76页 |
| 4.2.2 气敏材料的制备及传感器的制备 | 第76-77页 |
| 4.2.3 材料表征平台和实验平台 | 第77-79页 |
| 4.2.4 测试方法 | 第79-80页 |
| 4.3 结果及讨论 | 第80-103页 |
| 4.3.1 气敏材料的表征结果 | 第80-82页 |
| 4.3.2 程序变温循环的测试结果 | 第82-90页 |
| 4.3.3 传感器的室温气敏性能 | 第90-92页 |
| 4.3.4 恒温测试和程序降温测试的气敏响应对比 | 第92-101页 |
| 4.3.5 程序降温提高金属氧化物气体敏感性的机制 | 第101-103页 |
| 4.4 本章小结 | 第103-105页 |
| 5 全文总结 | 第105-107页 |
| 6 工作展望 | 第107-109页 |
| 致谢 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-137页 |
| 附录1 攻读博士学位期间撰写与发表的论文 | 第137-138页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请与授权的专利 | 第138页 |
