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陶瓷基CVD金刚石薄膜的制备、摩擦试验及其应用研究

摘要第5-8页
ABSTRACT第8-10页
第一章 绪论第13-31页
    1.1 课题来源第13页
    1.2 引言第13-14页
    1.3 金刚石材料概述第14-19页
        1.3.1 金刚石的结构及形态第14-16页
        1.3.2 金刚石的性能及应用第16-19页
    1.4 CVD 金刚石膜的生长机理和制备方法第19-23页
        1.4.1 CVD 金刚石膜的生长机理第19-21页
        1.4.2 CVD 金刚石膜的制备方法第21-23页
    1.5 陶瓷基CVD 金刚石薄膜的研究现状第23-29页
        1.5.1 结构陶瓷的分类和特点第23-25页
        1.5.2 金刚石薄膜制备方法的研究进展第25-27页
        1.5.3 金刚石薄膜摩擦性能的研究进展第27-28页
        1.5.4 金刚石涂层工具的应用研究进展第28-29页
    1.6 论文的研究意义和主要研究内容第29-31页
        1.6.1 研究意义第29页
        1.6.2 研究的主要内容第29-31页
第二章 陶瓷基CVD 金刚石薄膜的制备及表征第31-42页
    2.1 引言第31页
    2.2 CVD 金刚石薄膜的制备第31-34页
        2.2.1 薄膜的沉积方法第31-32页
        2.2.2 薄膜的沉积装置第32页
        2.2.3 薄膜的沉积工艺第32-34页
    2.3 CVD 金刚石薄膜的表征第34-41页
        2.3.1 薄膜的表征方法第34-35页
        2.3.2 薄膜的表面形貌及厚度检测第35-37页
        2.3.3 薄膜的三维形貌分析第37-38页
        2.3.4 薄膜的XRD 分析第38-39页
        2.3.5 薄膜的Raman 光谱分析第39-41页
    2.4 本章小结第41-42页
第三章 陶瓷基CVD 金刚石薄膜的摩擦试验研究第42-58页
    3.1 引言第42-43页
    3.2 CVD 金刚石薄膜的表征第43-44页
    3.3 CVD 金刚石薄膜的摩擦试验方案第44-45页
    3.4 CVD 金刚石薄膜的摩擦试验结果及分析第45-57页
        3.4.1 薄膜的摩擦系数分析第45-49页
        3.4.2 薄膜与配副材料磨损表面分析第49-56页
        3.4.3 薄膜的摩擦机理分析第56-57页
    3.5 本章小结第57-58页
第四章 CVD 金刚石涂层陶瓷车刀的制备和切削性能研究第58-66页
    4.1 引言第58-59页
    4.2 金刚石涂层车刀片的制备与表征第59-62页
        4.2.1 涂层的衬底材料第59页
        4.2.2 涂层的制备方法第59-61页
        4.2.3 涂层的表面形貌分析第61-62页
    4.3 金刚石涂层车刀的切削性能研究第62-65页
        4.3.1 试验条件及方案设计第62-63页
        4.3.2 试验结果及分析第63-65页
    4.4 本章小结第65-66页
第五章 CVD 金刚石涂层陶瓷模具的制备、表征和应用研究第66-78页
    5.1 引言第66-67页
    5.2 拉拔模具简介第67-69页
        5.2.1 拉拔模具孔型简介第67-68页
        5.2.2 影响拉拔模具的参数第68-69页
    5.3 CVD 金刚石涂层模具的制备第69-72页
    5.4 模具内孔表面金刚石涂层的表征第72-73页
        5.4.1 涂层表面形貌及厚度检测第72页
        5.4.2 模具内孔表面的Raman 光谱分析第72-73页
    5.5 陶瓷基金刚石涂层在拉拔模具上的应用研究第73-76页
        5.5.1 陶瓷基金刚石涂层在电缆绞线紧压模上的应用第73-75页
        5.5.2 陶瓷基金刚石涂层在铜管拉拔模具上的应用第75-76页
    5.6 本章小结第76-78页
第六章 结论第78-83页
    6.1 主要研究工作及结论第78-80页
    6.2 本文主要创新点第80-81页
    6.3 下一步工作展望第81-83页
参考文献第83-88页
致谢第88-89页
攻读硕士学位期间公开发表的论文第89-92页
上海交通大学学位论文答辩决议书第92页

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