摘要 | 第5-8页 |
ABSTRACT | 第8-10页 |
第一章 绪论 | 第13-31页 |
1.1 课题来源 | 第13页 |
1.2 引言 | 第13-14页 |
1.3 金刚石材料概述 | 第14-19页 |
1.3.1 金刚石的结构及形态 | 第14-16页 |
1.3.2 金刚石的性能及应用 | 第16-19页 |
1.4 CVD 金刚石膜的生长机理和制备方法 | 第19-23页 |
1.4.1 CVD 金刚石膜的生长机理 | 第19-21页 |
1.4.2 CVD 金刚石膜的制备方法 | 第21-23页 |
1.5 陶瓷基CVD 金刚石薄膜的研究现状 | 第23-29页 |
1.5.1 结构陶瓷的分类和特点 | 第23-25页 |
1.5.2 金刚石薄膜制备方法的研究进展 | 第25-27页 |
1.5.3 金刚石薄膜摩擦性能的研究进展 | 第27-28页 |
1.5.4 金刚石涂层工具的应用研究进展 | 第28-29页 |
1.6 论文的研究意义和主要研究内容 | 第29-31页 |
1.6.1 研究意义 | 第29页 |
1.6.2 研究的主要内容 | 第29-31页 |
第二章 陶瓷基CVD 金刚石薄膜的制备及表征 | 第31-42页 |
2.1 引言 | 第31页 |
2.2 CVD 金刚石薄膜的制备 | 第31-34页 |
2.2.1 薄膜的沉积方法 | 第31-32页 |
2.2.2 薄膜的沉积装置 | 第32页 |
2.2.3 薄膜的沉积工艺 | 第32-34页 |
2.3 CVD 金刚石薄膜的表征 | 第34-41页 |
2.3.1 薄膜的表征方法 | 第34-35页 |
2.3.2 薄膜的表面形貌及厚度检测 | 第35-37页 |
2.3.3 薄膜的三维形貌分析 | 第37-38页 |
2.3.4 薄膜的XRD 分析 | 第38-39页 |
2.3.5 薄膜的Raman 光谱分析 | 第39-41页 |
2.4 本章小结 | 第41-42页 |
第三章 陶瓷基CVD 金刚石薄膜的摩擦试验研究 | 第42-58页 |
3.1 引言 | 第42-43页 |
3.2 CVD 金刚石薄膜的表征 | 第43-44页 |
3.3 CVD 金刚石薄膜的摩擦试验方案 | 第44-45页 |
3.4 CVD 金刚石薄膜的摩擦试验结果及分析 | 第45-57页 |
3.4.1 薄膜的摩擦系数分析 | 第45-49页 |
3.4.2 薄膜与配副材料磨损表面分析 | 第49-56页 |
3.4.3 薄膜的摩擦机理分析 | 第56-57页 |
3.5 本章小结 | 第57-58页 |
第四章 CVD 金刚石涂层陶瓷车刀的制备和切削性能研究 | 第58-66页 |
4.1 引言 | 第58-59页 |
4.2 金刚石涂层车刀片的制备与表征 | 第59-62页 |
4.2.1 涂层的衬底材料 | 第59页 |
4.2.2 涂层的制备方法 | 第59-61页 |
4.2.3 涂层的表面形貌分析 | 第61-62页 |
4.3 金刚石涂层车刀的切削性能研究 | 第62-65页 |
4.3.1 试验条件及方案设计 | 第62-63页 |
4.3.2 试验结果及分析 | 第63-65页 |
4.4 本章小结 | 第65-66页 |
第五章 CVD 金刚石涂层陶瓷模具的制备、表征和应用研究 | 第66-78页 |
5.1 引言 | 第66-67页 |
5.2 拉拔模具简介 | 第67-69页 |
5.2.1 拉拔模具孔型简介 | 第67-68页 |
5.2.2 影响拉拔模具的参数 | 第68-69页 |
5.3 CVD 金刚石涂层模具的制备 | 第69-72页 |
5.4 模具内孔表面金刚石涂层的表征 | 第72-73页 |
5.4.1 涂层表面形貌及厚度检测 | 第72页 |
5.4.2 模具内孔表面的Raman 光谱分析 | 第72-73页 |
5.5 陶瓷基金刚石涂层在拉拔模具上的应用研究 | 第73-76页 |
5.5.1 陶瓷基金刚石涂层在电缆绞线紧压模上的应用 | 第73-75页 |
5.5.2 陶瓷基金刚石涂层在铜管拉拔模具上的应用 | 第75-76页 |
5.6 本章小结 | 第76-78页 |
第六章 结论 | 第78-83页 |
6.1 主要研究工作及结论 | 第78-80页 |
6.2 本文主要创新点 | 第80-81页 |
6.3 下一步工作展望 | 第81-83页 |
参考文献 | 第83-88页 |
致谢 | 第88-89页 |
攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第89-92页 |
上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第92页 |