| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 太赫兹波简介 | 第11-15页 |
| 1.1.1 太赫兹的基本性质 | 第11-12页 |
| 1.1.2 太赫兹的应用 | 第12-14页 |
| 1.1.3 太赫兹技术的研究热点 | 第14-15页 |
| 1.2 亚波长金属周期结构在太赫兹技术中的应用 | 第15-24页 |
| 1.2.1 基本概念 | 第15-16页 |
| 1.2.2 金属孔周期结构 | 第16-20页 |
| 1.2.3 金属环谐振结构 | 第20-21页 |
| 1.2.4 可调谐太赫兹器件 | 第21-24页 |
| 1.3 论文的选题意义和研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 数值仿真以及加工测试方法 | 第26-44页 |
| 2.1 数值仿真方法 | 第26-30页 |
| 2.1.1 有限时域差分方法 | 第27-28页 |
| 2.1.2 材料参数的选择 | 第28页 |
| 2.1.3 边界条件的设置 | 第28-29页 |
| 2.1.4 仿真模型的优化 | 第29-30页 |
| 2.2 太赫兹波段亚波长金属周期结构的加工 | 第30-41页 |
| 2.2.1 基底材料的选择 | 第31-33页 |
| 2.2.2 金属在太赫兹波段的特性 | 第33页 |
| 2.2.3 材料的特征尺寸 | 第33-35页 |
| 2.2.4 微细加工技术基础 | 第35-40页 |
| 2.2.5 太赫兹波段人工电磁材料加工技术 | 第40-41页 |
| 2.3 测试方法 | 第41-43页 |
| 2.3.1 太赫兹时域光谱技术 | 第41-42页 |
| 2.3.2 实验系统 | 第42页 |
| 2.3.3 参数提取方法 | 第42-43页 |
| 2.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 影响基于亚波长金属周期结构的主要因素 | 第44-57页 |
| 3.1 引言 | 第44-45页 |
| 3.2 特征尺寸对亚波长金属周期结构透射特性的影响 | 第45-51页 |
| 3.2.1 结构单元尺寸的影响 | 第45-48页 |
| 3.2.2 金属层的厚度的影响 | 第48-49页 |
| 3.2.3 排列周期大小的影响 | 第49-51页 |
| 3.3 材料对亚波长金属周期结构透射特性的影响 | 第51-53页 |
| 3.4 形状对亚波长金属周期结构透射特性的影响 | 第53-55页 |
| 3.4.1 金属孔结构 | 第53页 |
| 3.4.2 金属条结构 | 第53-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 单层复合型器件 | 第57-70页 |
| 4.1 引言 | 第57-58页 |
| 4.2 金属孔复合结构 | 第58-60页 |
| 4.2.1 多通道带通器件 | 第58-59页 |
| 4.2.2 频率拓宽器件 | 第59-60页 |
| 4.3 金属条复合结构 | 第60-63页 |
| 4.3.1 仿真结果及分析 | 第60-61页 |
| 4.3.4 实验测试结果 | 第61-63页 |
| 4.4 基于太赫兹频率光梳的快速成像系统 | 第63-68页 |
| 4.4.1 太赫兹成像系统 | 第64-65页 |
| 4.4.2 基于太赫兹频率光梳的快速成像系统 | 第65-66页 |
| 4.4.3 频率光梳的设计原理 | 第66-67页 |
| 4.4.4 快速成像系统的操作步骤 | 第67-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 MEMS梳齿驱动型可调谐太赫兹滤波器 | 第70-88页 |
| 5.1 引言 | 第70-72页 |
| 5.2 加工方案 | 第72-81页 |
| 5.2.1 静电梳齿驱动器 | 第73-77页 |
| 5.2.2 SOI片的太赫兹透过特性 | 第77-78页 |
| 5.2.3 器件加工方案设计 | 第78-81页 |
| 5.3 设计的结构 | 第81-82页 |
| 5.4 静态测试结果 | 第82-85页 |
| 5.5 仿真结果分析 | 第85-87页 |
| 5.6 本章小结 | 第87-88页 |
| 第六章 亚波长金属周期结构薄膜参数提取方法 | 第88-99页 |
| 6.1 引言 | 第88页 |
| 6.2 传统提取等效介电常数方法 | 第88-92页 |
| 6.2.1 S参数提取方法 | 第89-91页 |
| 6.2.2 传统方法的弊端 | 第91-92页 |
| 6.3 改进提取人工电磁材料的等效电磁参数 | 第92-97页 |
| 6.3.1 薄膜多次反射模型 | 第92-93页 |
| 6.3.2 理论推导 | 第93-94页 |
| 6.3.3 实验结果 | 第94-97页 |
| 6.4 本章小结 | 第97-99页 |
| 第七章 总结与展望 | 第99-101页 |
| 7.1 本文创新点和结论 | 第99页 |
| 7.2 未来工作展望 | 第99-101页 |
| 致谢 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-110页 |
| 攻博期间取得的研究成果 | 第110页 |