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SiO2/Si衬底上Ge量子点/石墨烯复合结构的制备及其光电响应性能研究

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-18页
    1.1 引言第9-10页
    1.2 传统Ge/Si量子点的生长及研究现状第10-13页
    1.3 半导体量子点/石墨烯复合结构第13-17页
        1.3.1 石墨烯的性质第13-14页
        1.3.2 半导体量子点/石墨烯复合结构光电探测器第14-17页
    1.4 本论文的研究工作第17-18页
第二章 实验仪器和表征方法第18-26页
    2.1 离子束溅射设备的基本结构及原理第18-20页
    2.2 样品表征方法第20-25页
        2.2.1 原子力显微镜(AFM)第20-21页
        2.2.2 Raman光谱法第21-23页
        2.2.3 光致发光谱(PL)第23-24页
        2.2.4 X射线光电子能谱(XPS)第24-25页
    2.3 Materials Studio软件介绍第25-26页
第三章 石墨烯表面离子束溅射Ge量子点的生长研究第26-41页
    3.1 引言第26页
    3.2 CVD石墨烯向SiO_2/Si衬底的转移第26-28页
    3.3 室温下石墨烯/SiO_2表面上Ge的沉积第28-32页
        3.3.1 表面生长形貌分析第28-30页
        3.3.2 拉曼光谱结果及分析第30-32页
    3.4 高温下石墨烯/SiO_2表面Ge的沉积第32-37页
        3.4.1 实验参数设计第32页
        3.4.2 实验结果分析第32-37页
    3.5 室温下Ge岛成核几率分析(Zinsmeister理论)第37-40页
    3.6 本章小结第40-41页
第四章 Ge在石墨烯表面的吸附第41-49页
    4.0 引言第41页
    4.1 密度泛函理论基本原理第41-42页
        4.1.1 Hohenberg-Kohn定理第41-42页
        4.1.2 Kohn-Sham方程第42页
    4.2 计算方法第42-44页
    4.3 结果及讨论第44-47页
        4.3.1 不同覆盖度石墨烯上Ge的吸附第44-46页
        4.3.2 差分电荷密度的计算及定性分析第46-47页
        4.3.3 石墨烯表面Ge形貌预测第47页
    4.4 本章小结第47-49页
第五章 SiO_2/Si衬底Ge量子点/石墨烯复合结构红外探测性能及表征第49-59页
    5.1 引言第49页
    5.2 器件制备及表征第49-52页
        5.2.1 器件的制备第49-51页
        5.2.2 器件光电性能表征第51-52页
    5.3 器件的光电性能第52-58页
        5.3.1 Ge量子点与石墨烯之间的载流子转移第52-54页
        5.3.2 Ge量子点/石墨烯FET光电响应机制第54-55页
        5.3.3 不同栅压对Ge量子点/石墨烯FET的光电调控第55-56页
        5.3.4 Ge量子点/石墨烯FET响应率预测模型(LP-R模型)第56-58页
    5.4 本章小结第58-59页
第六章 总结第59-61页
参考文献第61-68页
附录 硕士学位期间发表的文章及参与的项目第68-69页
致谢第69页

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