计量型紫外显微镜纳米位移系统的研制
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第18-27页 |
| 1.1 纳米技术 | 第18-20页 |
| 1.2 纳米计量技术的发展 | 第20-23页 |
| 1.3 国内外计量型紫外显微镜计量技术的研究现状 | 第23-26页 |
| 1.4 课题意义和主要研究的内容 | 第26-27页 |
| 第二章 二维纳米位移台设计 | 第27-54页 |
| 2.1 纳米位移台的发展 | 第27-28页 |
| 2.2 二维纳米位移台的分析 | 第28-31页 |
| 2.3 二维纳米位移台组成 | 第31-34页 |
| 2.3.1 PZT驱动器 | 第31-32页 |
| 2.3.2 PZT控制器 | 第32页 |
| 2.3.3 激光器及干涉仪 | 第32-33页 |
| 2.3.4 数据采集卡 | 第33-34页 |
| 2.4 二维纳米位移台工作位移刚度 | 第34-36页 |
| 2.4.1 纳米位移台外层结构工作位移刚度 | 第34-35页 |
| 2.4.2 纳米位移台内层结构工作位移刚度 | 第35-36页 |
| 2.4.3 纳米位移台工作位移的有限元仿真 | 第36页 |
| 2.5 二维纳米位移台行程实验 | 第36-42页 |
| 2.5.1 纳米位移台行程测量原理 | 第37页 |
| 2.5.2 纳米位移台x轴线性度实验 | 第37-40页 |
| 2.5.3 纳米位移台y轴线性度实验 | 第40-42页 |
| 2.5.4 纳米位移台x和y线性度实验对比分析 | 第42页 |
| 2.6 二维纳米位移台行程实验误差 | 第42-45页 |
| 2.6.1 环境误差 | 第42-43页 |
| 2.6.2 原理误差 | 第43-44页 |
| 2.6.3 几何误差 | 第44页 |
| 2.6.4 人员误差 | 第44页 |
| 2.6.5 不确定度合成 | 第44-45页 |
| 2.7 二维纳米位移台角摆及耦合位移实验 | 第45-52页 |
| 2.7.1 纳米位移台角摆及耦合位移实验原理 | 第45页 |
| 2.7.2 角摆及耦合位移的计算模型 | 第45-46页 |
| 2.7.3 纳米位移台x及y轴角摆实验 | 第46-49页 |
| 2.7.4 纳米位移台x和y轴耦合实验 | 第49-51页 |
| 2.7.5 纳米位移台x和y轴耦合实验对比分析 | 第51页 |
| 2.7.6 纳米位移台x和y轴角摆及耦合位移误差 | 第51-52页 |
| 2.8 本章小结 | 第52-54页 |
| 第三章 大范围二维气浮位移台设计 | 第54-70页 |
| 3.1 位移运动系统的组成 | 第54-55页 |
| 3.2 大范围二维气浮位移台的组成 | 第55-58页 |
| 3.2.1 电机驱动机构 | 第55-56页 |
| 3.2.2 气浮连接机构 | 第56-58页 |
| 3.3 直流无刷电机选型论证 | 第58-64页 |
| 3.3.1 驱动电机 | 第58-59页 |
| 3.3.2 电机控制模型 | 第59-61页 |
| 3.3.3 电机驱动机构运动分辨率 | 第61-62页 |
| 3.3.4 电机转矩波动 | 第62-64页 |
| 3.4 气浮位移台性能标定 | 第64-68页 |
| 3.4.1 气浮位移台标定测量原理 | 第65页 |
| 3.4.2 气浮位移台分辨率及重复精度 | 第65-66页 |
| 3.4.3 气浮位移台运动精度 | 第66-67页 |
| 3.4.4 气浮位移台正反定位误差 | 第67页 |
| 3.4.5 气浮位移台角摆 | 第67-68页 |
| 3.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 第四章 位移运动系统的量值溯源技术 | 第70-87页 |
| 4.1 位移运动系统量值溯源的设计 | 第70-75页 |
| 4.1.1 光路原理 | 第70-71页 |
| 4.1.2 量值溯源实现原理 | 第71页 |
| 4.1.3 量值溯源机械结构 | 第71-75页 |
| 4.2 位移运动系统的量值溯源仪器选型和论证 | 第75-80页 |
| 4.2.1 激光器 | 第75-77页 |
| 4.2.2 干涉仪 | 第77-79页 |
| 4.2.3 波长跟踪器 | 第79-80页 |
| 4.3 位移运动系统的量值溯源误差 | 第80-83页 |
| 4.3.1 波长跟踪器环境误差 | 第80-81页 |
| 4.3.2 激光干涉仪误差 | 第81-82页 |
| 4.3.3 死程误差 | 第82页 |
| 4.3.4 安装误差 | 第82-83页 |
| 4.3.5 测量重复性误差 | 第83页 |
| 4.3.6 量值溯源的合成标准不确定度 | 第83页 |
| 4.4 标准栅格量值溯源实验 | 第83-86页 |
| 4.4.1 二维栅格实验 | 第83-85页 |
| 4.4.2 测量结果分析 | 第85-86页 |
| 4.5 本章小结 | 第86-87页 |
| 第五章 总结与展望 | 第87-89页 |
| 5.1 论文总结 | 第87页 |
| 5.2 论文展望 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第93页 |
