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冶金硅中B及金属杂质元素去除的研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
主要符号表第18-19页
1 绪言第19-46页
    1.1 研究背景与意义第19-21页
    1.2 太阳能级多晶硅传统制备工艺第21-25页
        1.2.1 改良西门子法第21-22页
        1.2.2 硅烷法第22-24页
        1.2.3 流化床法第24-25页
    1.3 太阳能级多晶硅冶金法技术路线第25-27页
    1.4 冶金法技术路线的技术环节第27-45页
        1.4.1 酸洗第27-28页
        1.4.2 定向凝固第28-31页
        1.4.3 电子束熔炼第31-33页
        1.4.4 合金法第33-38页
        1.4.5 等离子体熔炼第38-39页
        1.4.6 造渣熔炼第39-45页
    1.5 本文主要研究思路第45-46页
2 实验设备和仪器第46-53页
    2.1 试样熔炼设备第46-47页
        2.1.1 中频感应熔炼炉第46-47页
        2.1.2 硅钼棒高温炉第47页
    2.2 电磁场设备第47-49页
        2.2.1 旋转磁场第47-48页
        2.2.2 行波磁场第48-49页
    2.3 样品处理设备第49-50页
    2.4 测温及记录设备第50-51页
    2.5 其他设备第51页
    2.6 检测设备第51-53页
        2.6.1 ICP-AES(OES/MS)第51-52页
        2.6.2 XRD第52页
        2.6.3 电子探针第52页
        2.6.4 光学显微镜第52-53页
3 酸洗法去除金属杂质第53-64页
    3.1 酸洗原理及酸洗方案第53-54页
    3.2 酸洗实验结果第54-62页
        3.2.1 硅粉颗粒尺寸对酸洗效果的影响第54-56页
        3.2.2 酸洗时间对酸洗效果的影响第56-58页
        3.2.3 温度对酸洗效果的影响第58-60页
        3.2.4 机械搅拌对王水酸洗效果的影响第60页
        3.2.5 HNO_3含量对混合酸酸洗效果的影响第60-61页
        3.2.6 HF含量对混合酸酸洗效果的影响第61-62页
    3.3 本章小结第62-64页
4 四元CaO-SiO_2-MgO-Al_2O_3熔渣熔炼第64-74页
    4.1 实验原理、实验原料及实验过程第64-67页
    4.2 实验结果与分析第67-73页
        4.2.1 CaO-SiO_2-Al_2O_3-MgO渣中CaO/SiO_2比例对L_B的影响第67-68页
        4.2.2 CaO-SiO_2-Al_2O_3-MgO渣中Al_2O_3含量对L_B的影响第68-69页
        4.2.3 CaO-SiO_2-Al_2O_3-MgO造渣熔炼时间对L_B的影响第69-71页
        4.2.4 CaO-SiO_2-Al_2O_3-MgO二次造渣对除B效果的影响第71-73页
    4.3 本章小结第73-74页
5 四元CaO-SiO_2-BaO-CaF_2熔渣熔炼第74-86页
    5.1 实验原料和实验过程第74页
    5.2 实验结果和分析第74-85页
        5.2.1 CaO-SiO_2-BaO-CaF_2造渣熔炼时间对硼的分配系数L_B的影响第75-76页
        5.2.2 CaO-SiO_2-BaO-CaF_2渣中CaO/SiO_2比例对硼的分配系数L_B的影响第76-77页
        5.2.3 CaO-SiO_2-BaO-CaF_2渣中BaO含量对硼的分配系数L_B的影响第77-78页
        5.2.4 CaO-SiO_2-BaO-CaF_2渣中CaF_2含量对L_B的影响第78-79页
        5.2.5 CaO-SiO_2-BaO-CaF_2二次造渣对除B效果的影响第79-80页
        5.2.6 CaO-SiO_2-BaO-CaF_2造渣电化学模型第80-82页
        5.2.7 不同造渣方法的比较第82-85页
    5.3 本章小结第85-86页
6 Al-Si-(Sn)合金凝固过程中初生硅形态和分布的电磁场调控第86-107页
    6.1 实验原理和实验过程第86-88页
    6.2 Al-Si合金在旋转磁场下凝固的实验结果第88-100页
        6.2.1 熔体温度对Al-Si合金中初生硅分布的影响第88-92页
        6.2.2 磁场强度对Al-Si合金凝固组织的影响第92-95页
        6.2.3 Si含量对Al-Si合金凝固组织的影响第95-97页
        6.2.4 过共晶铝硅合金在旋转磁场下凝固后初生硅分离的机制第97-99页
        6.2.5 杂质分凝系数及去除效果第99-100页
    6.3 行波磁场下Al-Si-Sn合金中初生硅的调控第100-104页
        6.3.1 行波磁场下Al-30%Si-10%Sn的凝固组织第100-102页
        6.3.2 Al-Sn-Si凝固过程中行波磁场对除B的影响第102-104页
    6.4 本文研究的各种提纯方法比较第104-106页
    6.5 本章小结第106-107页
7 结论与展望第107-109页
    7.1 结论第107-108页
    7.2 创新点第108页
    7.3 展望第108-109页
参考文献第109-115页
攻读博士学位期间科研项目及科研成果第115-116页
致谢第116-117页
作者简介第117页

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